visokotemperaturni tankoslojni ultrazvučni pretvarač

Širok raspon visokotemperaturnog tankog filma ultrazvučni pretvarači . uvode se visokotemperaturni tankoslojni mjerači naprezanja i visokotemperaturni tankoslojni mjerači naprezanja koriste se za tanke slojeve legura duo za osjetljive materijale u ranoj fazi. Zbog različitih karakteristika materijala i procesa izrade ultrazvučni pretvornik udaljenosti , tankoslojni mjerači naprezanja izrađeni su od različitih legura. koje mogu izdržati temperaturu uvelike varira. Na primjer, tankoslojni mjerači naprezanja od legure NiCr mogu izdržati ispitne temperature od 600°C; Tankoslojni mjerači naprezanja od legure PdCr mogu doseći maksimalnu radnu temperaturu ultrazvučnog senzora udaljenosti. 

Nakon optimizacije procesnih parametara, mogu se koristiti na temperaturi od 1 100°C; Ni-CrAlY tankoslojni mjerači naprezanja mogu izdržati temperature do 800°C. piezo keramički materijali mogu izdržati više temperature od trenutnih legura, piezo keramički mjerači naprezanja uključuju vrste ITO (Indium Tin Oxide) i TaN 2. ITO tankoslojni mjerači naprezanja mogu raditi na sobnoj temperaturi od datasheet ultrazvučnog senzora raspona , ali razina deformacije i temperatura imaju veliki učinak na koeficijent varijacije, koji je uglavnom uzrokovan difuzijom kisika u ITO filmu. Tankoslojni mjerači naprezanja TaN mogu izdržati temperature do 400°C. Procesni parametri imaju veliki utjecaj na mikrostrukturu TaN tankih filmova ultrazvučni senzor raspona .koeficijent otpora i koeficijent deformacije tankoslojnih mjerača deformacije. TCR temperaturni koeficijent otpora piezo keramike i legura je suprotan jedan drugome i može se poništiti. 

Trenutno se višeslojni tankoslojni mjerači naprezanja izrađuju od piezo keramike i proizvode se legure. TaN je nestabilan na zraku iznad 500°C, tako da temperatura korištenja TaN/PdCr višeslojnih mjerača napetosti ne prelazi 500°C. Barijev stroncijev titanat koristi se kao osjetljivi medij kapacitivnog ultrazvučnog senzora za mjerenje udaljenosti, a PdCr elektroda kao visokotemperaturni tankoslojni mjerač naprezanja ima ravnu pločičastu interdigitalnu strukturu i može izdržati visoku temperaturu od 500°C.