højtemperatur tyndfilm ultralydstransducer

Et bredt udvalg af højtemperatur tyndfilm ultralydstransducer introduceres. højtemperatur tyndfilm strain gauges og høj temperatur tyndfilm strain gauges bruges til legerede tynde film duo til de følsomme materialer på et tidligt tidspunkt. På grund af forskellige materialeegenskaber og fremstillingsprocesser af ultralydsafstandstransducer , tynd-film strain gauges er lavet af forskellige legeringer, som kan modstå temperaturen varierer meget. For eksempel kan NiCr-legering tyndfilm-strain gauges modstå testtemperaturer på 600°C; PdCr-legering tynd-film strain gauges kan nå en maksimal driftstemperatur for ultralydsafstandssensor. 

Efter optimering af procesparametre kan de bruges ved en temperatur på 1 100°C; Ni-CrAlY tyndfilm strain gauges kan modstå temperaturer op til 800°C. piezo keramiske materialer kan modstå højere temperaturer end legeringer på nuværende tidspunkt, piezo keramiske strain gauges inkluderer ITO (Indium Tin Oxide) og TaN 2 typer. ITO tyndfilm strain gauges kan fungere ved stuetemperatur på ultralydsområde sensor datablad , men belastningsniveauet og temperaturen har en stor effekt på variationskoefficienten, som hovedsageligt er forårsaget af diffusion af ilt i ITO-filmen. TaN tyndfilm strain gauges kan modstå temperaturer op til 400°C. Procesparametre har en stor indflydelse på mikrostrukturen af ​​TaN tyndfilms ultralydssensor. Modstandskoefficienten og belastningskoefficienten for tyndfilmsstrain gauges. TCR-temperaturmodstandskoefficienten for piezokeramik og legeringer er modsat hinanden og kan ophæve hinanden. 

På nuværende tidspunkt er flerlags tyndfilm-strain gauges lavet af piezo-keramik, og legeringer er blevet produceret. TaN er ustabil i luften over 500°C, så brugstemperaturen for TaN/PdCr flerlags strain gauges overstiger ikke 500°C. Bariumstrontiumtitanatet bruges som det følsomme medium i den kapacitive ultralydsafstandsmålingssensor, og PdCr-elektroden som højtemperatur-tyndfilm-strain gauge vedtager en flad plade interdigiteret struktur og kan modstå en høj temperatur på 500°C.