korkean lämpötilan ohutkalvo-ultraäänianturi

Laaja valikoima korkean lämpötilan ohutkalvoja ultraäänianturi otetaan käyttöön. korkean lämpötilan ohutkalvovenymäantureita ja korkean lämpötilan ohutkalvovenymäantureita käytetään seostettaessa ohuita kalvoja, jotka on yhdistetty herkkiin materiaaleihin varhaisessa vaiheessa. Johtuen erilaisista materiaaliominaisuuksista ja valmistusprosesseista ultraäänietäisyysanturi , ohutkalvovenymäanturit on valmistettu erilaisista seoksista, jotka kestävät lämpötila vaihtelee suuresti. Esimerkiksi NiCr-seoksesta valmistetut ohutkalvovenymämittarit kestävät 600 °C:n testilämpötiloja; PdCr-seoksesta valmistetut ohutkalvovenymämittarit voivat saavuttaa ultraäänietäisyysanturin maksimikäyttölämpötilan. 

Prosessiparametrien optimoinnin jälkeen niitä voidaan käyttää 1 100 °C:n lämpötilassa; Ni-CrAlY-ohutkalvovenymämittarit kestävät jopa 800 °C:n lämpötiloja. Pietsokeraamiset materiaalit kestävät korkeampia lämpötiloja kuin nykyiset seokset. Pietsokeraamisiin venymäantureisiin kuuluvat ITO (indium Tin Oxide) ja TaN 2 -tyypit. ITO-ohutkalvovenymämittarit voivat toimia huoneenlämmössä ultraäänialueen anturin tietolomake , mutta jännitystasolla ja lämpötilalla on suuri vaikutus variaatiokertoimeen, joka johtuu pääasiassa hapen diffuusiosta ITO-kalvossa. TaN-ohutkalvovenymämittarit kestävät jopa 400 °C:n lämpötiloja. Prosessiparametreilla on suuri vaikutus TaN ohutkalvoisten ultraäänialueen anturin mikrorakenteeseen. Ohutkalvovenymäanturien resistanssi- ja venymäkerroin. Pietsokeramiikan ja metalliseosten TCR-lämpötilavastus on vastakkainen ja voi kumota toisensa. 

Tällä hetkellä monikerroksisia ohutkalvovenymäantureita valmistetaan pietsokeramiikasta ja seoksia on valmistettu. TaN on epästabiili ilmassa yli 500°C, joten TaN/PdCr monikerroksisten venymäanturien käyttölämpötila ei ylitä 500°C. Barium-strontiumtitanaattia käytetään kapasitiivisen ultraäänietäisyysmittausanturin herkänä väliaineena, ja PdCr-elektrodi korkean lämpötilan ohutkalvovenymämittarina käyttää litteää levyä, joka on interdigitoitu ja kestää korkean 500 °C:n lämpötilan.