vysokoteplotní tenkovrstvý ultrazvukový měnič

Široká škála vysokoteplotních tenkých filmů ultrazvukové měniče . jsou zavedeny vysokoteplotní tenkovrstvé tenzometry a vysokoteplotní tenkovrstvé tenzometry se používají pro slitinové tenké vrstvy duo k citlivým materiálům v rané fázi. Vzhledem k různým materiálovým charakteristikám a výrobním postupům ultrazvukový snímač vzdálenosti , tenkovrstvé tenzometry jsou vyrobeny z různých slitin, které odolávají velmi proměnlivým teplotám. Například tenkovrstvé tenzometry ze slitiny NiCr vydrží zkušební teploty 600 °C; Tenkovrstvé tenzometry ze slitiny PdCr mohou dosáhnout maximální provozní teploty ultrazvukového snímače vzdálenosti. 

Po optimalizaci procesních parametrů je lze používat při teplotě 1 100°C; Tenkovrstvé tenzometry Ni-CrAlY odolávají teplotám až 800 °C. piezokeramické materiály snesou vyšší teploty než slitiny v současnosti, mezi piezokeramické tenzometry patří typy ITO (Indium Tin Oxide) a TaN 2 . Tenkovrstvé tenzometry ITO mohou pracovat při pokojové teplotě datový list snímače ultrazvukového dosahu , ale úroveň napětí a teplota mají velký vliv na variační koeficient, který je způsoben hlavně difúzí kyslíku ve filmu ITO. Tenkovrstvé tenzometry TaN odolávají teplotám až 400°C. Procesní parametry mají velký vliv na mikrostrukturu tenkovrstvého ultrazvukového snímače vzdálenosti TaN. Koeficient odporu a koeficient deformace tenkovrstvých tenzometrů. Teplotní koeficient odporu TCR piezokeramiky a slitin je opačný a může se vzájemně rušit. 

V současnosti se vícevrstvé tenkovrstvé tenzometry vyrábějí z piezokeramiky a vyrábí se slitiny. TaN je nestabilní na vzduchu nad 500 °C, takže teplota použití vícevrstvých tenzometrů TaN/PdCr nepřesahuje 500 °C. Titaničitan barnatý strontnatý se používá jako citlivé médium kapacitního ultrazvukového senzoru pro měření vzdálenosti a elektroda PdCr jako vysokoteplotní tenkovrstvý tenzometr má plochou desku propojenou strukturu a může odolat vysoké teplotě 500 °C.