високотемпературний тонкоплівковий ультразвуковий перетворювач

Широкий асортимент високотемпературної тонкоплівки ультразвуковий перетворювач . введено високотемпературні тонкоплівкові тензодатчики та високотемпературні тонкоплівкові тензодатчики використовуються для сплаву тонких плівок дует до чутливих матеріалів на ранній стадії. Завдяки різним характеристикам матеріалу та виробничим процесам ультразвуковий датчик відстані , тонкоплівкові тензодатчики виготовлені з різних сплавів, які можуть витримувати температуру, яка сильно змінюється. Наприклад, тонкоплівкові тензодатчики зі сплаву NiCr можуть витримувати випробувальну температуру 600°C; Тонкоплівкові тензодатчики зі сплаву PdCr можуть досягати максимальної робочої температури ультразвукового датчика відстані. 

Після оптимізації параметрів процесу їх можна використовувати при температурі 1100°C; Тонкоплівкові тензодатчики Ni-CrAlY витримують температуру до 800°C. П'єзокерамічні матеріали можуть витримувати вищі температури, ніж сплави в даний час, п'єзокерамічні тензодатчики включають типи ITO (оксид олова індію) і TaN 2. Тонкоплівкові тензодатчики ITO можуть працювати при кімнатній температурі опис датчика ультразвукового діапазону , але рівень деформації та температура мають великий вплив на коефіцієнт варіації, що в основному спричинено дифузією кисню в плівці ITO. Тонкоплівкові тензодатчики TaN витримують температуру до 400°C. Параметри процесу мають великий вплив на мікроструктуру тонких плівок TaN ультразвукового датчика діапазону. Коефіцієнт опору та коефіцієнт деформації тонкоплівкових тензодатчиків. Температурний коефіцієнт опору TCR п'єзокераміки та сплавів протилежний один одному і може компенсувати один одного. 

В даний час багатошарові тонкоплівкові тензодатчики виготовляються з п'єзокераміки і сплавів. TaN нестійкий на повітрі вище 500 °C, тому температура використання багатошарових тензодатчиків TaN/PdCr не перевищує 500 °C. Титанат барію-стронцію використовується як чутливе середовище ємнісного ультразвукового датчика відстані, а електрод PdCr як високотемпературний тонкоплівковий тензометричний датчик має плоску пластинчасту міжпальцеву структуру та може витримувати високу температуру 500°C.