trasduttore ultrasonico a film sottile ad alta temperatura

Una vasta gamma di film sottile per alte temperature i trasduttori ad ultrasuoni . vengono introdotti Gli estensimetri a film sottile per alte temperature e gli estensimetri a film sottile per alte temperature vengono utilizzati per i film sottili in lega che si uniscono ai materiali sensibili in una fase iniziale. A causa delle diverse caratteristiche dei materiali e dei processi di produzione Trasduttore di distanza ad ultrasuoni , gli estensimetri a film sottile sono realizzati con leghe diverse, che possono resistere a variazioni di temperatura notevolmente. Ad esempio, gli estensimetri a film sottile in lega NiCr possono resistere a temperature di prova di 600°C; Gli estensimetri a film sottile in lega PdCr possono raggiungere la temperatura operativa massima del sensore di distanza a ultrasuoni. 

Dopo l'ottimizzazione dei parametri di processo, possono essere utilizzati alla temperatura di 1 100°C; Gli estensimetri a film sottile Ni-CrAlY possono resistere a temperature fino a 800°C. I materiali piezoceramici possono resistere a temperature più elevate rispetto alle leghe attuali, gli estensimetri piezoceramici includono i tipi ITO (ossido di indio e stagno) e TaN 2. Gli estensimetri a film sottile ITO possono funzionare a temperatura ambiente di scheda tecnica del sensore di portata ultrasonica , ma il livello di deformazione e la temperatura hanno un grande effetto sul coefficiente di variazione, che è causato principalmente dalla diffusione dell'ossigeno nella pellicola ITO. Gli estensimetri a film sottile TaN possono resistere a temperature fino a 400°C. I parametri di processo hanno una grande influenza sulla microstruttura del sensore di portata ultrasonico a film sottile TaN, sul coefficiente di resistenza e sul coefficiente di deformazione degli estensimetri a film sottile. Il coefficiente di resistenza alla temperatura TCR delle ceramiche piezoelettriche e delle leghe è opposto l'uno all'altro e può annullarsi a vicenda. 

Attualmente, gli estensimetri multistrato a film sottile sono realizzati in ceramica piezoelettrica e sono state prodotte leghe. Il TaN è instabile nell'aria a temperature superiori a 500°C, quindi la temperatura di utilizzo degli estensimetri multistrato TaN/PdCr non supera i 500°C. Il titanato di bario-stronzio viene utilizzato come mezzo sensibile del sensore capacitivo di misurazione della distanza a ultrasuoni e l'elettrodo PdCr come estensimetro a film sottile ad alta temperatura adotta una struttura interdigitata a piastra piatta e può resistere a una temperatura elevata di 500°C.