materialsystem av høy temperatur tynn film piezo keramikk

Høytemperatur tynnfilm termiske strømningsmålere består vanligvis av en termisk motstand 400Khz piezo-svinger og et termometerlag. Den termiske ledningsevnen til to typer termiske motstandsmaterialer med forskjellige tykkelser, tykkelsen på det ene piezolaget er 1 mm, og tykkelsen på det andre laget er 2 mm. Når det er varmefluks, genereres temperaturene under det termiske motstandslaget er henholdsvis T1 og T2. De termiske ekspansjonskoeffisientene til 1Mhz piezoelektrisk materiale er forskjellige. Under oppvarmings- eller avkjølingsprosessen kan det genereres termisk spenning, slik at lagene av forskjellige piezomaterialer sprekker. det følsomme materialet kan oksidere og sprekke, og dermed kan tynnfilmsensoren svikte. Strekkmålere ved høye temperaturer må strekkes ofte. Fordi strekkstyrkene til materialer i forskjellige lag er forskjellige, kan spenningskonsentrasjon og sprekker oppstå mellom piezoelektrisk effektsensor under drift, og til slutt vil strekkmålerne produsere målefeil og til og med svikte. Når det utformes en tynnfilmsensor, er det nødvendig å vurdere termisk ekspansjonskoeffisient mellom lagene av materialer, til og med elastisitetsmodulen, slik at parametrene til de tilstøtende piezolagene er så nærme som mulig, og dermed redusere den termiske mistilpasningen og strekkspenningen.