materiaal stelsel van hoë temperatuur dun film piëzo keramiek

Hoë-temperatuur dunfilm termiese vloeimeters bestaan ​​oor die algemeen uit 'n termiese weerstand 400Khz piëzo-omskakelaar en 'n termometerlaag. Die termiese geleidingsvermoë van twee soorte termiese weerstandsmateriale met verskillende diktes, die dikte van een piëzo-laag is 1 mm, en die dikte van die ander laag is 2 mm. Wanneer daar hittevloed is, word die temperature gegenereer onder die termiese weerstandslaag is T1 en T2 onderskeidelik. Die termiese uitsettingskoëffisiënte van die 1Mhz piëzo-elektriese materiaal is anders. Tydens die verhittings- of verkoelingsproses kan termiese spanning gegenereer word, sodat die lae van verskillende piëzo-materiale kraak. die sensitiewe materiaal kan oksideer en breek, en dus kan die dunfilmsensor misluk. Hoë-temperatuur rekmeters moet gereeld gerek word. Omdat die treksterktes van materiale in verskillende lae verskillend is, kan spanningskonsentrasie en krake tussen die piëso-elektriese effeksensor tydens werking, en uiteindelik sal die spanningsmeters meetfoute produseer en selfs misluk. Wanneer 'n dunfilmsensor ontwerp word, is dit nodig om die termiese uitsettingskoëffisiënt tussen die lae materiaal in ag te neem, selfs die elastisiteitsmodulus, sodat die parameters van die aangrensende piëzo-lae so na as moontlik is, en sodoende die termiese wanverhouding en die trekspanning verminder.