materialsystem av högtemperatur tunnfilm piezokeramik

Termiska flödesmätare med tunn film med hög temperatur består i allmänhet av ett termiskt motstånd 400Khz piezogivare och ett termometerlager. Värmeledningsförmågan hos två typer av värmeresistansmaterial med olika tjocklek, tjockleken på ett piezoskikt är 1 mm och tjockleken på det andra skiktet är 2 mm. När det finns värmeflöde genereras temperaturerna under det termiska motståndsskiktet T1 respektive T2. De termiska expansionskoefficienterna för 1Mhz piezoelektriskt material är olika. Under uppvärmning eller nedkylning kan termisk spänning genereras, så att skikten av olika piezomaterial spricker. det känsliga materialet kan oxidera och spricka, och därför kan tunnfilmssensorn misslyckas. Töjningsmätare för hög temperatur måste sträckas ofta. Eftersom draghållfastheten hos material i olika lager är olika kan spänningskoncentration och sprickor uppstå mellan de piezoelektrisk effektsensor under drift, och slutligen kommer töjningsgivarna att producera mätfel och till och med misslyckas. När man designar en tunnfilmssensor är det nödvändigt att överväga värmeutvidgningskoefficienten mellan materialskikten, till och med elasticitetsmodulen, så att parametrarna för de intilliggande piezoskikten är så nära som möjligt, vilket minskar den termiska oanpassningen och dragspänningen.