матеріальна система високотемпературної тонкоплівкової п'єзокераміки

Високотемпературні тонкоплівкові теплові витратоміри зазвичай складаються з теплового опору П'єзоперетворювач 400 КГц і шар термометра. Теплопровідність двох видів термостійких матеріалів різної товщини, товщина одного п’єзошару становить 1 мм, а товщина іншого шару – 2 мм. Коли є тепловий потік, температури, що утворюються під шаром термічного опору, становлять T1 і T2 відповідно. Коефіцієнти теплового розширення П'єзоелектричний матеріал 1 МГц відрізняється. Під час процесу нагрівання або охолодження може виникнути термічна напруга, через що шари різних п’єзоматеріалів тріскаються. чутливий матеріал може окислитися та зламатися, і, отже, датчик тонкої плівки може вийти з ладу. Високотемпературні тензодатчики необхідно часто розтягувати. Оскільки міцність на розрив матеріалів у різних шарах різна, між ними може виникнути концентрація напруги та тріщини датчик п'єзоелектричного ефекту під час роботи, і, нарешті, тензодатчики вироблятимуть помилки вимірювань і навіть виходитимуть з ладу. При розробці тонкоплівкового датчика необхідно враховувати коефіцієнт теплового розширення між шарами матеріалів, навіть модуль пружності, щоб параметри сусідніх п’єзошарів були якомога ближчими, тим самим зменшуючи теплову невідповідність і напругу розтягування.