матеріальна система високотемпературної тонкоплівкової п'єзокераміки

Високотемпературні тонкоплівкові теплові витратоміри зазвичай складаються з теплового опору П'єзоперетворювач 400 КГц і шар термометра. Теплопровідність двох видів термостійких матеріалів різної товщини, товщина одного п’єзошару становить 1 мм, а товщина іншого шару – 2 мм. Коли є тепловий потік, температури, що утворюються під шаром теплового опору, становлять T1 і T2 відповідно. Коефіцієнти теплового розширення П'єзоелектричний матеріал 1 МГц відрізняється. Під час процесу нагрівання або охолодження може виникнути термічна напруга, через що шари різних п’єзоматеріалів тріскаються. чутливий матеріал може окислитись і зламатися, і таким чином датчик тонкої плівки може вийти з ладу. Високотемпературні тензодатчики необхідно часто розтягувати. Оскільки міцність на розрив матеріалів у різних шарах різна, між ними може виникнути концентрація напруги та тріщини датчик п'єзоелектричного ефекту під час роботи, і, нарешті, тензодатчики вироблятимуть помилки вимірювань і навіть виходитимуть з ладу. При розробці тонкоплівкового датчика необхідно враховувати коефіцієнт теплового розширення між шарами матеріалів, навіть модуль пружності, щоб параметри сусідніх п’єзошарів були якомога ближчими, тим самим зменшуючи теплову невідповідність і напругу розтягування.