матэрыяльная сістэма высокатэмпературнай тонкаплёнкавай п'езакерамікі

Высокотэмпературныя тонкаплёнкавыя цеплавыя расходомеры звычайна складаюцца з цеплавога супраціву П'езапераўтваральнік 400 кГц і пласт тэрмометра. Цеплаправоднасць двух відаў тэрмаўстойлівых матэрыялаў з рознай таўшчынёй, таўшчыня аднаго п'езапласта складае 1 мм, а таўшчыня іншага пласта - 2 мм. Пры наяўнасці цеплавога патоку тэмпературы, якія ствараюцца пад пластом цеплавога супраціву, складаюць T1 і T2 адпаведна. Каэфіцыент цеплавога пашырэння 1Mhz п'езаэлектрычны матэрыял адрозніваецца. У працэсе нагрэву або астуджэння можа ўзнікнуць цеплавое напружанне, у выніку чаго пласты розных п'езаматэрыялаў трэскаюцца. адчувальны матэрыял можа акісліцца і зламацца, і, такім чынам, датчык тонкай плёнкі можа выйсці з ладу. Высокотэмпературныя тензодатчики неабходна часта расцягваць. Паколькі трываласць на разрыў матэрыялаў у розных пластах розная, паміж імі могуць узнікаць канцэнтрацыя напружання і расколіны датчык п'езаэлектрычнага эфекту падчас працы, і, нарэшце, тензодатчики будуць выклікаць памылкі вымярэнняў і нават адмовіцца. Пры распрацоўцы тонкаплёнкавага датчыка неабходна ўлічваць каэфіцыент цеплавога пашырэння паміж пластамі матэрыялаў, нават модуль пругкасці, каб параметры суседніх слаёў п'еза былі як мага больш блізкімі, тым самым памяншаючы цеплавое неадпаведнасць і напружанне пры расцяжэнні.