高温薄膜ピエゾセラミックの材料系

高温薄膜熱式流量計は一般に熱抵抗で構成されます。 400Khz 圧電トランスデューサー と温度計層。厚さの異なる2種類の熱抵抗材料の熱伝導率。一方のピエゾ層の厚さは1mm、もう一方の層の厚さは2mmです。熱流束がある場合、熱抵抗層の下で発生する温度はそれぞれ T1 と T2 です。の熱膨張係数は、 1Mhzの圧電材料 は異なります。加熱または冷却のプロセス中に熱応力が発生し、さまざまな圧電材料の層に亀裂が生じる可能性があります。敏感な材料が酸化して破損する可能性があり、その結果、薄膜センサーが故障する可能性があります。高温ひずみゲージは頻繁に伸ばす必要があります。異なる層の材料の引張強度が異なるため、層間で応力集中が発生し、亀裂が発生する可能性があります。 動作中に圧電効果センサーが 使用され、最終的にはひずみゲージが測定誤差を引き起こし、さらには故障することもあります。薄膜センサーを設計する場合、材料の層間の熱膨張係数、さらには弾性率を考慮して、隣接するピエゾ層のパラメータを可能な限り近づけ、それによって熱の不一致と引張応力を軽減する必要があります。