materialesystem af højtemperatur tyndfilm piezokeramik

Højtemperatur tyndfilm termiske flowmålere består generelt af en termisk modstand 400Khz piezo-transducer og et termometerlag. Den termiske ledningsevne af to slags termiske modstandsmaterialer med forskellige tykkelser, tykkelsen af ​​det ene piezolag er 1 mm, og tykkelsen af ​​det andet lag er 2 mm. Når der er varmeflux, genereres temperaturerne under det termiske modstandslag er henholdsvis T1 og T2. De termiske udvidelseskoefficienter af 1Mhz piezoelektriske materialer er forskellige. Under opvarmnings- eller afkølingsprocessen kan der opstå termisk spænding, så lagene af forskellige piezomaterialer revner. det følsomme materiale kan oxidere og gå i stykker, og dermed kan tyndfilmssensoren svigte. Højtemperatur-strain gauges skal strækkes ofte. Fordi trækstyrkerne af materialer i forskellige lag er forskellige, kan der opstå spændingskoncentrationer og revner mellem piezoelektrisk effektsensor under drift, og endelig vil strain gauges producere målefejl og endda svigte. Når det designes en tyndfilmssensor, er det nødvendigt at overveje termisk udvidelseskoefficient mellem lagene af materialer, selv elasticitetsmodulet, så parametrene for de tilstødende piezolag er så tætte som muligt, hvorved den termiske uoverensstemmelse og trækspændingen reduceres.