उच्च तापमान वाली पतली फिल्म पीजो सिरेमिक की सामग्री प्रणाली

उच्च तापमान वाली पतली-फिल्म थर्मल फ्लोमीटर में आम तौर पर थर्मल प्रतिरोध होता है 400Khz पीजो ट्रांसड्यूसर और एक थर्मामीटर परत। अलग-अलग मोटाई वाली दो प्रकार की तापीय प्रतिरोध सामग्री की तापीय चालकता, एक पीजो परत की मोटाई 1 मिमी है, और दूसरी परत की मोटाई 2 मिमी है। जब ऊष्मा का प्रवाह होता है, तो तापीय प्रतिरोध परत के नीचे क्रमशः T1 और T2 तापमान उत्पन्न होता है। के थर्मल विस्तार गुणांक 1 मेगाहर्ट्ज पीज़ोइलेक्ट्रिक सामग्री अलग हैं। हीटिंग या शीतलन प्रक्रिया के दौरान, थर्मल तनाव उत्पन्न हो सकता है, जिससे विभिन्न पीजो सामग्रियों की परतें टूट जाती हैं। संवेदनशील सामग्री ऑक्सीकरण और फ्रैक्चर हो सकती है, और इस प्रकार पतली फिल्म सेंसर विफल हो सकता है। उच्च तापमान तनाव गेज को बार-बार खींचने की आवश्यकता होती है। क्योंकि विभिन्न परतों में सामग्रियों की तन्यता ताकत अलग-अलग होती है, उनके बीच तनाव एकाग्रता और दरारें हो सकती हैं ऑपरेशन के दौरान पीजोइलेक्ट्रिक प्रभाव सेंसर , और अंत में स्ट्रेन गेज माप त्रुटियां उत्पन्न करेगा और विफल भी हो जाएगा। जब यह एक पतली-फिल्म सेंसर डिजाइन कर रहा है, तो सामग्री की परतों के बीच थर्मल विस्तार के गुणांक, यहां तक ​​​​कि लोच के मापांक पर भी विचार करना आवश्यक है, ताकि आसन्न पीजो परतों के पैरामीटर जितना संभव हो उतना करीब हों, जिससे थर्मल बेमेल और तन्य तनाव कम हो।