sistema materiale di ceramica piezoelettrica a film sottile ad alta temperatura

I misuratori di portata termici a film sottile per alte temperature sono generalmente costituiti da una resistenza termica Trasduttore piezoelettrico da 400 Khz e uno strato termometrico. La conduttività termica di due tipi di materiali di resistenza termica con spessori diversi, lo spessore di uno strato piezoelettrico è 1 mm e lo spessore dell'altro strato è 2 mm. Quando c'è flusso di calore, le temperature generate sotto lo strato di resistenza termica sono rispettivamente T1 e T2. I coefficienti di dilatazione termica del Il materiale piezoelettrico da 1 Mhz è diverso. Durante il processo di riscaldamento o raffreddamento può generarsi stress termico, per cui gli strati di diversi materiali piezoelettrici si rompono. il materiale sensibile potrebbe ossidarsi e fratturarsi e quindi il sensore a pellicola sottile potrebbe guastarsi. Gli estensimetri per alte temperature devono essere allungati frequentemente. Poiché le resistenze alla trazione dei materiali nei diversi strati sono diverse, tra di essi possono verificarsi concentrazioni di stress e crepe sensore di effetto piezoelettrico durante il funzionamento e, infine, gli estensimetri produrranno errori di misurazione e addirittura falliranno. Quando si progetta un sensore a film sottile, è necessario considerare il coefficiente di dilatazione termica tra gli strati di materiali, anche il modulo di elasticità, in modo che i parametri degli strati piezoelettrici adiacenti siano il più vicini possibile, riducendo così il disadattamento termico e lo stress di trazione.