نظام المواد من السيراميك الكهروضغطي الرقيق ذو درجة الحرارة العالية

تتكون مقاييس التدفق الحراري ذات الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية عمومًا من مقاومة حرارية محول بيزو 400 كيلو هرتز وطبقة ميزان الحرارة. الموصلية الحرارية لنوعين من مواد المقاومة الحرارية بسماكات مختلفة، سمك طبقة بيزو واحدة 1 مم، وسمك الطبقة الأخرى 2 مم. عندما يكون هناك تدفق حراري، تتولد درجات الحرارة تحت طبقة المقاومة الحرارية وهي T1 وT2 على التوالي. معاملات التمدد الحراري المواد الكهرضغطية 1 ميجا هرتز مختلفة. أثناء عملية التسخين أو التبريد، قد يتولد إجهاد حراري، بحيث تتشقق طبقات المواد الضغطية المختلفة. قد تتأكسد المادة الحساسة وتنكسر، وبالتالي قد يفشل مستشعر الأغشية الرقيقة. يجب تمديد مقاييس الضغط ذات درجة الحرارة العالية بشكل متكرر. ونظرًا لاختلاف قوة الشد للمواد الموجودة في الطبقات المختلفة، فقد يحدث تركيز الإجهاد والشقوق بين الطبقات مستشعر التأثير الكهرضغطي أثناء التشغيل، وأخيرًا، ستنتج أجهزة قياس الضغط أخطاء في القياس وحتى تفشل. عند تصميم مستشعر الأغشية الرقيقة، من الضروري مراعاة معامل التمدد الحراري بين طبقات المواد، وحتى معامل المرونة، بحيث تكون معلمات الطبقات الانضغاطية المجاورة قريبة قدر الإمكان، وبالتالي تقليل عدم التطابق الحراري وإجهاد الشد.