materiaalijärjestelmä korkean lämpötilan ohutkalvo pietsokeramiikka

Korkean lämpötilan ohutkalvolämpövirtausmittarit koostuvat yleensä lämpövastuksesta 400Khz pietsokanturi ja lämpömittarikerros. Kahden eri paksuisen lämmönkestävyysmateriaalin lämmönjohtavuus, yhden pietsokerroksen paksuus on 1 mm ja toisen kerroksen paksuus on 2 mm. Kun on lämpövirtaa, lämpöresistanssikerroksen alla syntyvät lämpötilat ovat T1 ja T2. Lämpölaajenemiskertoimet 1Mhz pietsosähköiset materiaalit ovat erilaisia. Lämmitys- tai jäähdytysprosessin aikana voi syntyä lämpöjännitystä, jolloin eri pietsomateriaalien kerrokset halkeilevat. herkkä materiaali voi hapettua ja murtua, jolloin ohutkalvotunnistin voi epäonnistua. Korkean lämpötilan venymäantureita on venytettävä usein. Koska eri kerrosten materiaalien vetolujuudet ovat erilaiset, jännityskeskittymiä ja halkeamia voi esiintyä niiden välillä Pietsosähköinen anturi käytön aikana, ja lopulta venymämittarit aiheuttavat mittausvirheitä ja jopa epäonnistuvat. Ohutkalvoanturia suunniteltaessa on otettava huomioon materiaalikerrosten välinen lämpölaajenemiskerroin, jopa kimmokerroin, jotta vierekkäisten pietsokerrosten parametrit ovat mahdollisimman lähellä, mikä vähentää lämpöeroja ja vetojännitystä.