sistem bahan seramik piezo filem nipis suhu tinggi

Meter aliran haba filem nipis suhu tinggi biasanya terdiri daripada rintangan haba Transduser piezo 400Khz dan lapisan termometer. Kekonduksian terma dua jenis bahan rintangan haba dengan ketebalan yang berbeza, ketebalan satu lapisan piezo ialah 1mm, dan ketebalan lapisan lain ialah 2mm. Apabila terdapat fluks haba, suhu yang dihasilkan di bawah lapisan rintangan haba adalah T1 dan T2 masing-masing. Pekali pengembangan haba bagi Bahan piezoelektrik 1Mhz adalah berbeza. Semasa proses pemanasan atau penyejukan, tegasan haba boleh dijana, supaya lapisan bahan piezo yang berbeza retak. bahan sensitif mungkin teroksida dan patah, dan dengan itu penderia filem nipis mungkin gagal. Tolok terikan suhu tinggi perlu diregangkan dengan kerap. Oleh kerana kekuatan tegangan bahan dalam lapisan berbeza adalah berbeza, kepekatan tegasan dan keretakan mungkin berlaku antara sensor kesan piezoelektrik semasa operasi, dan akhirnya tolok terikan akan menghasilkan ralat pengukuran dan juga gagal. Apabila ia mereka bentuk penderia filem nipis, adalah perlu untuk mempertimbangkan pekali pengembangan haba antara lapisan bahan, malah modulus keanjalan, supaya parameter lapisan piezo bersebelahan adalah sedekat mungkin, dengan itu mengurangkan ketidakpadanan haba dan tegasan tegangan.