Bahagian ini menggunakan bahan seramik piezoelektrik PZT--5H yang telah dipolarisasi, menggunakan kaedah pengisian kepada PZT Bahan dipotong menjadi seramik piezoelektrik arah polarisasinya, dan luas keratan rentas adalah segi empat sama, dan lebar lajur ialah 36.03 um. Piezoelektrik seramik pil