У цьому розділі використовується п’єзоелектричний керамічний матеріал PZT-5H, який був поляризований, використовуючи метод заповнення для PZT. Матеріал нарізаний на п’єзоелектричну кераміку з напрямком поляризації, площа поперечного перерізу має квадрат, а ширина стовпця становить 36,03 мкм. П’єзоелектрична керамічна пілка