system materiałowy z wysokotemperaturowej cienkowarstwowej ceramiki piezoelektrycznej

Wysokotemperaturowe cienkowarstwowe przepływomierze termiczne zazwyczaj składają się z opornika termicznego Przetwornik piezoelektryczny 400Khz i warstwa termometru. Przewodność cieplna dwóch rodzajów materiałów termoodpornych o różnych grubościach, grubość jednej warstwy piezoelektrycznej wynosi 1 mm, a grubość drugiej warstwy wynosi 2 mm. Gdy występuje strumień ciepła, temperatury generowane pod warstwą oporu cieplnego wynoszą odpowiednio T1 i T2. Współczynniki rozszerzalności cieplnej Materiały piezoelektryczne 1 MHz są różne. Podczas procesu ogrzewania lub chłodzenia mogą powstać naprężenia termiczne, w wyniku czego warstwy różnych materiałów piezoelektrycznych pękają. wrażliwy materiał może utlenić się i pęknąć, co może spowodować uszkodzenie czujnika cienkowarstwowego. Tensometry wysokotemperaturowe wymagają częstego rozciągania. Ponieważ wytrzymałość na rozciąganie materiałów w różnych warstwach jest różna, pomiędzy nimi może wystąpić koncentracja naprężeń i pęknięcia czujnik efektu piezoelektrycznego podczas pracy, a w końcu tensometry będą generować błędy pomiarowe, a nawet zawodzić. Projektując czujnik cienkowarstwowy, należy wziąć pod uwagę współczynnik rozszerzalności cieplnej pomiędzy warstwami materiałów, a nawet moduł sprężystości, tak aby parametry sąsiednich warstw piezoelektrycznych były jak najbardziej zbliżone, zmniejszając w ten sposób niedopasowanie termiczne i naprężenie rozciągające.