materijalni sustav visokotemperaturne tankoslojne piezo keramike

Visokotemperaturni tankoslojni toplinski mjerači protoka općenito se sastoje od toplinskog otpornika 400Khz piezo sonda i sloj termometra. Toplinska vodljivost dviju vrsta toplinski otpornih materijala različitih debljina, debljina jednog piezo sloja je 1 mm, a debljina drugog sloja je 2 mm. Kada postoji toplinski tok, temperature koje se generiraju ispod toplinskog otpornog sloja su T1 i T2. Koeficijenti toplinskog širenja 1Mhz piezoelektrični materijali su različiti. Tijekom procesa zagrijavanja ili hlađenja može doći do toplinskog naprezanja, tako da slojevi različitih piezo materijala pucaju. osjetljivi materijal može oksidirati i slomiti se, a time i senzor tankog filma. Visokotemperaturne mjerače naprezanja potrebno je često rastezati. Budući da su vlačne čvrstoće materijala u različitim slojevima različite, koncentracija naprezanja i pukotine mogu se pojaviti između slojeva senzor s piezoelektričnim učinkom tijekom rada, i konačno, mjerači naprezanja će proizvesti pogreške u mjerenju, pa čak i otkazati. Pri projektiranju tankoslojnog senzora potrebno je uzeti u obzir koeficijent toplinskog rastezanja između slojeva materijala, čak i modul elastičnosti, tako da su parametri susjednih piezo slojeva što bliži, čime se smanjuje toplinska neusklađenost i vlačno naprezanje.