Studie om slipning och polering av aluminiumoxid piezokeramiskt substrat

Med den snabba utvecklingen av optoelektronisk teknik och mikroelektronisk teknik är det mer och mer angeläget för den elektroniska piezokeramik att använda under den hårda miljön, inklusive hög temperatur, hög luftfuktighet, elektrisk styrka, hög strålningsintensitet. Som vanligt använda material i elektronisk keramik har AlzO}-keramik många utmärkta egenskaper, som hög temperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, hög mekanisk hållfasthet, hög hårdhet, hög elektrisk isoleringsprestanda och låg dielektrisk förlust, etc. A1z03 keramik har fått stor uppmärksamhet och forskning med ett brett tillämpningsperspektiv inom aspekter av maskinelektronik, elektronisk kraft, biologisk medicin och amation. A1z03 tillverkningsteknik för keramiska material inkluderar huvudsakligen beredning av keramisk substratteknik och keramisk substratyta för skärnings- och bearbetningstekniken. De två delarna är väsentliga för formning och användning av substrat, där ytan av substratbearbetningstekniken är grunden och garantin för produktionen av elektroniska komponenter. På grund av hög hårdhet och sprödhet, lätt att producera sprickor, svår att ytbearbeta, är det svårt för AIzO} keramiska substrat att garantera kvaliteten och integriteten hos ytan och underytan. Och ytprocessen av A1z03 piezoelektriskt keramiskt material kräver inte bara hög dimensions- och formnoggrannhet, låg ytjämnhet och god ytintegritet, utan kräver också ultraslät yta utan defekter och skador för appliceringen av A1z03 keramiskt substrat. Därför, för beredningstekniken för substratmaterial, är det nyckeln och utvecklingstrenden att realisera yttersta slät och platt av A1z03 keramiskt substrat.

 Effekten av bearbetningsparametrarna på effektiv förtunning och superslät polering av A1z03 piezokeramiska rörtransduktorsubstrat studerades systematiskt i detta dokument. Det systematiska experimentet med A1z03 keramiskt substrat utfördes, med användning av enkelsidig och dubbelsidig slip- och poleringsutrustning. Effekterna av bearbetningsmetoderna, typen av slipmedel, slipmedelspartikelstorlek, överlappningstryck och lappningsplattans hastighet, slipvätskeflöde och koncentrationen av slipvätska på den effektiva förtunningsprocessen av A1z03 var analysen av den effektiva förtunningen av substratet och substratet. optimerad. Under villkoret av samma processparametrar studerades effekterna av enkelsidig och dubbelsidig polering på poleringseffektivitet och ytjämnhet hos AIzO} keramiskt substrat jämförande. Testresultaten visar att den enkelsidiga slip- och poleringsmetoden kan bli högre Pzt-material piezokeramisk transduktorborttagningseffektivitet och bättre ytbehandlingskvalitet.