Studija o procesu brušenja i poliranja aluminijeve piezo keramičke podloge

S brzim razvojem optoelektroničke tehnologije i mikroelektroničke tehnologije, sve je hitnije za elektroničku piezo keramika za korištenje u teškim uvjetima, uključujući visoke temperature, visoku vlažnost, električnu snagu, visok intenzitet zračenja. Kao materijali koji se često koriste u elektroničkoj keramici, AlzO} keramika ima mnoge izvrsne karakteristike, poput otpornosti na visoke temperature, otpornosti na koroziju, visoke mehaničke čvrstoće, visoke tvrdoće, visokih performansi električne izolacije i niskih dielektričnih gubitaka, itd. Keramika A1z03 dobila je široku pozornost i istraživanje sa širokim izgledom za primjenu u aspektima elektronike strojeva, elektroničke energije, biološke medicine i zračenja. A1z03 tehnologija proizvodnje keramičkih materijala uglavnom uključuje pripremu tehnologije keramičke podloge i površine keramičke podloge za tehnologiju rezanja i obrade. Dva su dijela bitna za oblikovanje i korištenje supstrata, pri čemu je površina tehnologije obrade supstrata temelj i jamstvo proizvodnje elektroničkih komponenti. Zbog visoke tvrdoće i lomljivosti, lakog stvaranja pukotina, teške površinske obrade, AIzO} keramičkoj podlozi teško je jamčiti kvalitetu i cjelovitost površine i podloge. Površinski proces A1z03 piezoelektričnog keramičkog materijala ne zahtijeva samo visoku točnost dimenzija i oblika, nisku površinsku hrapavost i dobar integritet površine, već također zahtijeva ultra glatku površinu bez nedostataka i oštećenja nakon primjene A1z03 keramičke podloge. Stoga je za tehnologiju pripreme materijala za supstrat ključ i razvojni trend ostvariti ultra glatku i ravnu površinu A1z03 keramičke podloge.

 Utjecaj parametara obrade na učinkovito stanjivanje i super-glatko poliranje A1z03 supstrat pretvornika piezokeramičke cijevi sustavno je proučavan u ovom radu. Proveden je sustavni eksperiment s keramičkom podlogom A1z03, korištenjem opreme za jednostrano i dvostrano brušenje i poliranje. Analizirani su učinci metoda obrade, vrste abraziva, veličine čestica abraziva, tlaka prianjanja i brzine ploče prianjanja, protoka tekućine za mljevenje i koncentracije tekućine za brušenje abraziva na učinkovito stanjivanje keramičke podloge A1z03 i analizirani su parametri procesa. optimizirano. U uvjetima istih procesnih parametara usporedno su proučavani učinci jednostranog i dvostranog poliranja na učinkovitost poliranja i hrapavost površine AIzO} keramičke podloge. Rezultati ispitivanja pokazuju da se metodom jednostranog brušenja i poliranja može postići veća vrijednost piezokeramičkog pretvarača Pzt materijala i bolja kvaliteta obrade površine. Učinkovitost uklanjanja