Staidéar ar Phróiseas Meilt agus Snasú Foshraith Ceirmeach Alumina Piezo

Le forbairt go mear na teicneolaíochta optoelectronic agus na teicneolaíochta micrileictreonaic, tá sé níos mó agus níos práinní don leictreonach criadóireacht piezo le húsáid faoin timpeallacht chrua, lena n-áirítear teocht ard, ard-taise, neart leictreach, déine radaíochta ard. Mar ábhair a úsáidtear go coitianta i gceirmeacht leictreonach, tá go leor tréithe den scoth ag criadóireacht AlzO}, cosúil le friotaíocht ardteochta, friotaíocht creimeadh, neart meicniúil ard, cruas ard, feidhmíocht inslithe leictreach ard agus caillteanas tréleictreach íseal, etc. Tá aird agus taighde leathan faighte ag criadóireacht A1z03 le hionchas iarratais leathan i ngnéithe leictreonaic innealra, cumhacht leictreonach, leigheas bitheolaíoch agus amation. Áirítear ar theicneolaíocht déantúsaíochta ábhar ceirmeach A1z03 go príomha le hullmhú na teicneolaíochta tsubstráit ceirmeacha, agus dromchla tsubstráit ceirmeach na teicneolaíochta gearrtha agus próiseála. Tá an dá chuid riachtanach chun foshraith a fhoirmiú agus a úsáid, ina bhfuil dromchla na teicneolaíochta próiseála tsubstráit mar bhunús agus ráthaíocht do tháirgeadh comhpháirteanna leictreonacha. Mar gheall ar chruas ard agus brittleness, éasca le scoilteanna a tháirgeadh, deacair le próiseáil dromchla, tá sé deacair do fhoshraith criadóireacht AIzO} cáilíocht agus sláine an dromchla agus an fhodhromchla a ráthú. Agus ní hamháin go n-éilíonn próiseas dromchla ábhar ceirmeach piezoelectric A1z03 cruinneas ard-tríthoiseach agus cruth, roughness dromchla íseal agus sláine dromchla maith, ach éilíonn sé freisin dromchla réidh ultra gan lochtanna agus damáiste fc cur i bhfeidhm tsubstráit ceirmeach A1z03. Dá bhrí sin, maidir le teicneolaíocht ullmhúcháin ábhar an tsubstráit, is é an príomh-threocht agus an treocht forbartha chun dromchla ultra-réidh agus cothrom de shubstráit ceirmeach A1z03 a bhaint amach.

 Tionchar na bparaiméadar próiseála ar tanú éifeachtach agus snasta super-réidh A1z03 trasducer feadán piezoceramic sa pháipéar seo. Rinneadh staidéar córasach ar an tsubstráit Rinneadh an turgnamh córasach ar shubstráit ceirmeach A1z03, ag baint úsáide as an trealamh meilt agus snasta aon-thaobh agus taobh dúbailte. Éifeachtaí na modhanna próiseála, cineál scríobach, méid na gcáithníní scríobach, brú rádlaithe agus luas pláta rádlaithe, sreabhadh sreabhach meilt agus tiúchan na sreabhán meilt scríobach ar tanú éifeachtach A1z03 ar fhoshraith ceirmeach, rinneadh anailís ar pharaiméadair phróisis an tsubstráit ceirmeacha. Faoi choinníoll na bparaiméadar próisis chéanna, rinneadh staidéar comparáideach ar éifeachtaí snasta aon-thaobh agus dhá thaobh ar éifeachtúlacht snasta agus garbh dromchla substráit ceirmeach AIzO}. Léiríonn na torthaí tástála gur féidir leis an modh próiseála meilt agus snasta aon-thaobh a fháil níos airde Éifeachtúlacht bhaint transducer piezoceramic ábhar Pzt agus cáilíocht dromchla.