Bestudeer oor slyp- en poleerproses van alumina-piezo-keramieksubstraat

Met die vinnige ontwikkeling van opto-elektroniese tegnologie en mikro-elektroniese tegnologie, is dit meer en meer dringend vir die elektroniese piezo-keramiek om onder die harde omgewing te gebruik, insluitend hoë temperatuur, hoë humiditeit, elektriese sterkte, hoë stralingsintensiteit. Soos algemeen gebruikte materiale in elektroniese keramiek, het AlzO} keramiek baie uitstekende eienskappe, soos hoë temperatuur weerstand, korrosie weerstand, hoë meganiese sterkte, hoë hardheid, hoë elektriese isolasie werkverrigting en lae diëlektriese verlies, ens. A1z03 keramiek het wye aandag en navorsing ontvang met 'n breë toepassingsvooruitsig in die aspekte van masjinerie-elektronika, elektroniese krag, biologiese medisyne en amasie. A1z03 keramiek materiaal vervaardiging tegnologie sluit hoofsaaklik die voorbereiding van keramiek substraat tegnologie, en keramiek substraat oppervlak van die sny en verwerking tegnologie. Die twee dele is noodsaaklik vir die vorming en gebruik van substraat, waarin die oppervlak van die substraatverwerkingstegnologie die grondslag en waarborg is vir die vervaardiging van elektroniese komponente. As gevolg van hoë hardheid en brosheid, maklik om krake te produseer, moeilik om oppervlak te verwerk, is dit moeilik vir AIzO} keramiek substraat om die kwaliteit en integriteit van oppervlak en ondergrond te waarborg. En die oppervlakproses van A1z03 piëzo-elektriese keramiekmateriaal vereis nie net hoë dimensionele en vormakkuraatheid, lae oppervlakruwheid en goeie oppervlakintegriteit nie, maar vereis ook 'n ultra gladde oppervlak sonder defekte en skade as gevolg van die toepassing van A1z03 keramieksubstraat. Daarom, vir die voorbereidingstegnologie vir substraatmateriaal, is dit die sleutel en ontwikkelingstendens om die oppervlak ultra glad en plat van A1z03 keramieksubstraat te verwesenlik.

 Die impak van die verwerkingsparameters op doeltreffende uitdunning en supergladde polering van A1z03 piëzokeramiese buis transducer substraat is sistematies bestudeer in hierdie vraestel. Die sistematiese eksperiment van A1z03 keramiek substraat is uitgevoer, met gebruik van die enkel- en dubbelkant slyp- en poleertoerusting. Die effekte van die verwerkingsmetodes, die tipe skuurmiddel, skuurdeeltjiegrootte, lapdruk en lapplaatspoed, slypvloeistofvloei en die konsentrasie van skuurmiddelslypvloeistof op die doeltreffende substraat- en verdunningsproses was ontleed van die A1z03-parameters, geoptimaliseer. Onder die toestand van dieselfde prosesparameters, is die effekte van enkel- en dubbelzijdige polering op poleerdoeltreffendheid en oppervlakruwheid van AIzO} keramieksubstraat vergelykend bestudeer. Die toetsresultate toon dat die enkelsydige slyp- en poleerverwerkingsmetode hoër kan behaal Pzt materiaal piëzokeramiese transducer verwydering doeltreffendheid en beter oppervlak. verwerking kwaliteit.