Onderzoek naar het slijp- en polijstproces van piëzo-keramisch substraat van aluminiumoxide

Met de snelle ontwikkeling van opto-elektronische technologie en micro-elektronische technologie wordt de elektronische technologie steeds urgenter piëzo-keramiek voor gebruik onder zware omstandigheden, inclusief hoge temperaturen, hoge luchtvochtigheid, elektrische sterkte, hoge stralingsintensiteit. Als veelgebruikte materialen in elektronisch keramiek heeft AlzO}-keramiek vele uitstekende eigenschappen, zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, hoge mechanische sterkte, hoge hardheid, hoge elektrische isolatieprestaties en laag diëlektrisch verlies, enz. A1z03-keramiek heeft brede aandacht en onderzoek gekregen met een breed toepassingsperspectief in de aspecten van machine-elektronica, elektronische kracht, biologische geneeskunde en amatie. A1z03 productietechnologie voor keramische materialen omvat voornamelijk de voorbereiding van keramische substraattechnologie en het keramische substraatoppervlak van de snij- en verwerkingstechnologie. De twee delen zijn essentieel voor het vormen en gebruiken van substraat, waarbij het oppervlak van de substraatverwerkingstechnologie de basis en garantie vormt voor de productie van elektronische componenten. Vanwege de hoge hardheid en brosheid, het gemakkelijk ontstaan ​​van scheuren en de moeilijke verwerking van het oppervlak, is het voor AIzO}-keramische substraten moeilijk om de kwaliteit en integriteit van het oppervlak en de ondergrond te garanderen. En het oppervlakteproces van A1z03 piëzo-elektrisch keramisch materiaal vereist niet alleen een hoge maat- en vormnauwkeurigheid, een lage oppervlakteruwheid en een goede oppervlakte-integriteit, maar vereist ook een ultraglad oppervlak zonder defecten en schade bij de toepassing van A1z03 keramisch substraat. Daarom is het voor de technologie voor de voorbereiding van substraatmateriaal de sleutel en ontwikkelingstrend om het oppervlak van het A1z03-keramische substraat ultraglad en vlak te realiseren.

 De impact van de verwerkingsparameters op het efficiënt verdunnen en superglad polijsten van A1z03 piëzokeramisch buistransducersubstraat werd in dit artikel systematisch bestudeerd. Het systematische experiment met het A1z03-keramische substraat werd uitgevoerd met behulp van de enkelzijdige en dubbelzijdige slijp- en polijstapparatuur. De effecten van de verwerkingsmethoden, het type schuurmiddel, de deeltjesgrootte van het schuurmiddel, de lepdruk en de snelheid van de lepplaat, de slijpvloeistofstroom en de concentratie van schurende slijpvloeistof op het efficiënte verdunnen van het A1z03-keramische substraat werden geanalyseerd en de procesparameters werden geoptimaliseerd. Onder de voorwaarde van dezelfde procesparameters werden de effecten van enkelzijdig en dubbelzijdig polijsten op de polijstefficiëntie en oppervlakteruwheid van AIzO} keramisch substraat vergelijkenderwijs bestudeerd. De testresultaten laten zien dat de enkelzijdige slijp- en polijstverwerkingsmethode hoger kan worden behaald Pzt-materiaal piëzokeramische transducerverwijderingsefficiëntie en betere oppervlakteverwerkingskwaliteit.