Studiu asupra procesului de șlefuire și lustruire a substratului piezoceramic de alumină

Odată cu dezvoltarea rapidă a tehnologiei optoelectronice și a tehnologiei microelectronice, este din ce în ce mai urgent pentru electronică Ceramica piezoelectrică pentru utilizare în mediul aspru, inclusiv temperatură ridicată, umiditate ridicată, rezistență electrică, intensitate ridicată a radiațiilor. Ca materiale utilizate în mod obișnuit în ceramica electronică, ceramica AlzO} are multe caracteristici excelente, cum ar fi rezistența la temperaturi ridicate, rezistența la coroziune, rezistența mecanică ridicată, duritatea ridicată, performanța ridicată de izolare electrică și pierderea dielectrică scăzută etc. Ceramica A1z03 a primit o atenție și cercetare largă, cu o perspectivă largă de aplicare în aspectele electronice ale mașinilor, energiei electronice, medicină biologică și amare. Tehnologia de fabricație a materialelor ceramice A1z03 include în principal pregătirea tehnologiei substratului ceramic și a suprafeței substratului ceramic a tehnologiei de tăiere și prelucrare. Cele două părți sunt esențiale pentru formarea și utilizarea substratului, în care suprafața tehnologiei de prelucrare a substratului este fundația și garanția producției de componente electronice. Din cauza durității și fragilității ridicate, a crăpăturilor ușor de produs, a procesării dificile la suprafață, este dificil ca substratul ceramic AIzO} să garanteze calitatea și integritatea suprafeței și a suprafeței. Iar procesul de suprafață al materialului ceramic piezoelectric A1z03 necesită nu numai o precizie ridicată dimensională și a formei, rugozitate scăzută a suprafeței și o bună integritate a suprafeței, dar necesită și o suprafață ultra netedă, fără defecte și daune pentru aplicarea substratului ceramic A1z03. Prin urmare, pentru tehnologia de pregătire a materialului substratului, este cheia și tendința de dezvoltare pentru a realiza o suprafață ultra netedă și plată a substratului ceramic A1z03.

 Impactul parametrilor de procesare asupra subțierii eficiente și lustruirii super-netede a A1z03 Substratul traductorului cu tub piezoceramic a fost studiat sistematic în această lucrare. Experimentul sistematic al substratului ceramic A1z03 a fost efectuat, utilizând echipamente de șlefuire și șlefuire cu o singură față și cu două părți. Au fost analizate și optimizate efectele metodelor de prelucrare, tipul de abraziv, dimensiunea particulelor abrazive, presiunea de lepare și viteza plăcii de lepare, debitul fluidului de șlefuire și concentrația fluidului de șlefuire abraziv asupra subțierii eficiente a substratului A1z03, au fost analizate și optimizate parametrii de subțiere a substratului A1z03. În condițiile acelorași parametri de proces, au fost studiate comparativ efectele lustruirii pe o singură față și pe două fețe asupra eficienței lustruirii și rugozității suprafeței substratului ceramic AIzO}. Rezultatele testelor arată că metoda de prelucrare a șlefuirii și lustruirii pe o singură față poate obține mai mult Pzt material piezoceramic eficiență de îndepărtare a traductorului și o calitate mai bună a suprafeței.processing.