Studio sul processo di molatura e lucidatura del substrato ceramico piezoelettrico di allumina

Con il rapido sviluppo della tecnologia optoelettronica e della tecnologia microelettronica, l'elettronica è sempre più urgente ceramica piezoelettrica da utilizzare in ambienti difficili, tra cui alta temperatura, elevata umidità, resistenza elettrica, elevata intensità di radiazione. Come materiali comunemente usati nella ceramica elettronica, la ceramica AlzO} ha molte caratteristiche eccellenti, come resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, elevata resistenza meccanica, elevata durezza, elevate prestazioni di isolamento elettrico e bassa perdita dielettrica, ecc. La ceramica A1z03 ha ricevuto ampia attenzione e ricerca con un'ampia prospettiva di applicazione negli aspetti dell'elettronica dei macchinari, dell'energia elettronica, della medicina biologica e dell'amazionismo. La tecnologia di produzione dei materiali ceramici A1z03 comprende principalmente la preparazione della tecnologia del substrato ceramico e la superficie del substrato ceramico della tecnologia di taglio e lavorazione. Le due parti sono essenziali per la formazione e l'utilizzo del substrato, in cui la superficie della tecnologia di lavorazione del substrato è il fondamento e la garanzia della produzione di componenti elettronici. A causa dell'elevata durezza e fragilità, della facile formazione di crepe e della difficile lavorazione della superficie, è difficile per il substrato ceramico AIzO} garantire la qualità e l'integrità della superficie e del sottosuolo. E il processo superficiale del materiale ceramico piezoelettrico A1z03 non solo richiede un'elevata precisione dimensionale e di forma, bassa rugosità superficiale e buona integrità superficiale, ma richiede anche una superficie ultra liscia senza difetti e danni per l'applicazione del substrato ceramico A1z03. Pertanto, per la tecnologia di preparazione del materiale del substrato, la chiave e la tendenza di sviluppo è realizzare una superficie ultra liscia e piatta del substrato ceramico A1z03.

 L'impatto dei parametri di lavorazione sull'efficiente diluizione e sulla lucidatura super liscia di A1z03 Il substrato del trasduttore del tubo piezoceramico è stato studiato sistematicamente in questo articolo. È stato condotto un esperimento sistematico sul substrato ceramico A1z03, utilizzando apparecchiature di smerigliatura e lucidatura su un lato e su due lati. Sono stati analizzati gli effetti dei metodi di lavorazione, il tipo di abrasivo, la dimensione delle particelle abrasive, la pressione di lappatura e la velocità della piastra di lappatura, il flusso del fluido di smerigliatura e la concentrazione del fluido di smerigliatura abrasivo sull'efficiente assottigliamento del substrato ceramico A1z03 e i parametri di processo sono stati ottimizzati. A condizione degli stessi parametri di processo, sono stati studiati comparativamente gli effetti della lucidatura su un solo lato e su entrambi i lati sull'efficienza di lucidatura e sulla ruvidità superficiale del substrato ceramico AIzO}. I risultati del test mostrano che il metodo di lavorazione di levigatura e lucidatura su un solo lato può ottenere risultati più elevati Efficienza di rimozione del trasduttore piezoceramico in materiale PZT e migliore qualità di lavorazione della superficie.