Høytemperatur tynnfilm piezoelektriske keramiske materialer

Sensitivt materiale

Sensitive materialer er kjernekomponentene i høytemperatur tynnfilmsensorer. Deres kjemiske og elektriske stabilitet har stor innflytelse på piezoelektriske ringer vibrasjonssensorer om tynnfilmsensorer kan brukes i tøffe miljøer. Typene sensitive materialer, mikrostrukturen til det sensitive materialet har egen krystallstruktur, og egenskapene til frie bærere utføres av koeffisientfølsomheten til den fremstilte tynnfilmsensoren. Generelt har legeringsfilmstøyningsmåleren den laveste gaugefaktoren, etterfulgt av en tynnfilmstøyningsmåler laget av piezokeramisk materiale, og den høyeste piezoelektrisk keramisk platetransduser er en halvleder tynn film strain gauge.

koeffektiv følsomhet

Jo høyere tøyningskoeffisient av høy temperatur har tynn film strain gauge, jo høyere koeffisient av høy temperatur PZT-materiale piezoelektrisk sensor er tynnfilm termoelement, og jo høyere temperaturkoeffisient av motstand er tynnfilm RTD, jo høyere følsomhet og jo lettere er målesignalet, men følsomheten til høytemperatur tynnfilmsensor er laget av forskjellige sensitive piezomaterialer. Koeffisientene varierer mye. Høytemperatur-tynnfilmstøyningsmålerne er laget av høytemperaturlegeringer har generelt en tøyningskoeffisient på 1 til 3, mens de vanlige tøyningsmålerne av piezokeramikk har en litt høyere tøyningskoeffisient på 3 til 9, men de er sammenlignbare med de for halvlederdopete strekkmålere til 21000 som fortsatt ikke er nok. Koeffisienten til et tynnfilmtermoelement er laget av en legering er lav, seebeck-koeffisienten til et tynnfilmsteroelement er laget av piezokeramikk er litt høy.

Ytelse av høy temperatur

Fremstillingsprosess av sensitivt piezomateriale