Hoge temperatuur dunne film piëzo-elektrische keramische materialen

Gevoelig materiaal

Gevoelige materialen vormen de kerncomponenten van dunnefilmsensoren voor hoge temperaturen. Hun chemische en elektrische stabiliteit hebben daar een grote invloed op piëzo-elektrische ringen trillingssensor of dunnefilmsensoren kunnen worden gebruikt in ruwe omgevingen. De soorten gevoelige materialen, de microstructuur van het gevoelige materiaal hebben een eigen kristalstructuur, en de eigenschappen van vrije dragers worden uitgevoerd op basis van de coëfficiëntgevoeligheid van de gefabriceerde dunnefilmsensor. Over het algemeen heeft de rekstrookje van een legeringsfilm de laagste meetfactor, gevolgd door een rekstrookje van dunne film gemaakt van piëzo-keramisch materiaal, en de hoogste piëzo-elektrische keramische schijftransducer is een halfgeleider dunne-film rekstrookje.

co -efficiënte gevoeligheid

De hogere rekcoëfficiënt van de hoge temperatuur heeft een dunne film rekstrookje, de hogere coëfficiënt van de hoge temperatuur PZT-materiaal piëzo-elektrische sensor is dunne film thermokoppel, en de hogere temperatuurcoëfficiënt van weerstand is de dunne film RTD, hoe hogere gevoeligheid en hoe gemakkelijker het meetsignaal, maar de gevoeligheid van de hoge temperatuur dunne filmsensor is gemaakt van verschillende gevoelige piëzo-materialen. De coëfficiënten variëren sterk. De dunne-film rekstrookjes voor hoge temperaturen zijn gemaakt van legeringen voor hoge temperaturen en hebben over het algemeen een rekcoëfficiënt van 1 tot 3, terwijl de gewone rekstrookjes van piëzo-keramiek een iets hogere rekcoëfficiënt hebben van 3 tot 9, maar ze zijn vergelijkbaar met die van halfgeleidergedoteerde rekstrookjes (100 tot 200), wat nog steeds niet hoog genoeg is. De coëfficiënt van een dunne-film-thermokoppel is gemaakt van een legering is laag, de Seebeck-coëfficiënt van een dunne-film-thermokoppel is gemaakt van piëzo-keramiek is enigszins hoog.

Prestaties bij hoge temperaturen

Vervaardigingsproces van gevoelig piëzomateriaal