أخبار

أنت هنا: بيت / أخبار / معلومات HIFU بيزو / مواد سيراميك كهرضغطية رقيقة ذات درجة حرارة عالية

مواد سيراميك كهرضغطية رقيقة ذات درجة حرارة عالية

المشاهدات: 16 المؤلف: محرر الموقع وقت النشر: 2018-06-28 الأصل: موقع

استفسر

مادة حساسة

المواد الحساسة هي المكونات الأساسية لأجهزة استشعار الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية. لاستقرارها الكيميائي والكهربائي تأثير كبير عليها حلقات كهرضغطية اهتزازية تستشعر ما إذا كان يمكن استخدام أجهزة استشعار الأغشية الرقيقة في البيئات القاسية. أنواع المواد الحساسة، والبنية المجهرية للمادة الحساسة لها بنية بلورية خاصة، ويتم تنفيذ خصائص الناقلات الحرة من خلال معامل حساسية مستشعر الأغشية الرقيقة المُصنَّع. بشكل عام، يحتوي مقياس انفعال الأغشية السبيكية على أقل عامل قياس، يليه مقياس انفعال الأغشية الرقيقة المصنوع من مادة سيراميك بيزو، والأعلى محول الطاقة القرصي الخزفي الكهرضغطي هو مقياس سلالة رقيق من أشباه الموصلات.

فعالةحساسية

يحتوي معامل الإجهاد العالي لدرجة الحرارة المرتفعة على مقياس سلالة رقيق، وهو معامل أعلى لدرجة الحرارة المرتفعة مستشعر كهرضغطية للمواد PZT عبارة عن مزدوج حراري للأغشية الرقيقة، ومعامل درجة الحرارة الأعلى للمقاومة هو الأغشية الرقيقة RTD، وكلما زادت الحساسية وأسهل إشارة القياس، لكن حساسية مستشعر الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة المرتفعة مصنوعة من مواد بيزو حساسة مختلفة. تختلف المعاملات على نطاق واسع. تصنع مقاييس الانفعال ذات الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية من سبائك عالية الحرارة بشكل عام بمعامل انفعال من 1 إلى 3، في حين أن مقاييس الانفعال العادية من السيراميك الانضغاطي لديها معامل انفعال أعلى قليلاً من 3 إلى 9، ولكنها قابلة للمقارنة مع تلك الخاصة بمقاييس الانفعال المشبعة بأشباه الموصلات (100 إلى 200). والتي لا تزال ليست عالية بما فيه الكفاية. معامل الأغشية الرقيقة الحرارية المصنوعة من سبيكة منخفض، ومعامل التسرب للمزدوجة الحرارية ذات الأغشية الرقيقة المصنوعة من السيراميك الضغطي مرتفع قليلاً.

أداء درجة الحرارة العالية

وتتحمل المواد الحساسة مهمة توليد الإشارات ويمكنها تحمل درجات حرارة محدودة. عندما تتجاوز درجة الحرارة درجة حرارة معينة ينقل السيراميك الكهروضغطي بالموجات فوق الصوتية r ، ويحدث تغيير الطور أو حتى تشقق المواد الانضغاطية الحساسة، مما يؤثر على الأداء الكهربائي ويؤدي في النهاية إلى فشل مستشعر الأغشية الرقيقة. في الوقت الحاضر، يمكن للسبيكة أن تتحمل درجات حرارة تصل إلى 1100 درجة مئوية، ويمكن للسيراميك الضغطي أن يتحمل درجات حرارة تصل إلى 1500 درجة مئوية. في التطبيقات ذات درجات الحرارة المرتفعة (مثل المناطق ذات درجات الحرارة المرتفعة في محركات الطائرات)، تجاوزت درجة الحرارة 1700 درجة مئوية. في الوقت الحاضر، لم تعد أجهزة الاستشعار ذات الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية قادرة على تحمل اختيار المواد والعمليات الانضغاطية الأكثر مقاومة لدرجات الحرارة المرتفعة ويمكنها تحمل أجهزة استشعار درجات الحرارة المرتفعة.

عملية تصنيع المواد الانضغاطية الحساسة

أجهزة الاستشعار الخزفية الكهرضغطية هي مواد حساسة ولها خصائص مقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة الأكسدة. الحالة الأولية سائلة. بعد المعالجة الخفيفة أو التصلد بالحرارة عند درجة حرارة حوالي 90 درجة مئوية إلى حوالي 100 درجة مئوية، تتراوح درجة الحرارة حوالي 300 درجة مئوية إلى 600 درجة مئوية. يتم إجراء الربط المتقاطع، ويتم في النهاية تحليل السيراميك الانضغاطي بدرجة حرارة تبلغ حوالي 1000 درجة مئوية. تعمل سلائف الخزف الخزفي بثبات عند درجات حرارة أعلى من 1400 درجة مئوية ولكنها تنكمش أثناء الربط المتبادل والتحلل الحراري، وتتقلص عادةً بحوالي 30%. يمكن أن تؤدي إضافة الحشوات إلى تقليل الانكماش. هناك عمليات ناضجة لتصنيع أجزاء الجسم باستخدام مستشعر اهتزاز القرص الكهرضغطي، ولكن هناك القليل من التقارير حول عمليات تشكيل الأغشية الرقيقة. لا يوجد تقرير عن عملية تنميط الأغشية الرقيقة PDC على السبائك القائمة على النيكل. ولذلك، فإن استخدام السيراميك الكهروضغطي لتصنيع مستشعرات الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية يتطلب حل الانكماش. إنها مشاكل ومشاكل في عملية الزخرفة. يمكن أن يؤدي اختيار المادة المناسبة إلى تحسين معامل الحساسية لمستشعر الأغشية الرقيقة ذو درجة الحرارة العالية. يمكن أيضًا تحسين معامل الحساسية لمستشعر الأغشية الرقيقة ذو درجة الحرارة العالية عن طريق تغيير تركيبة المادة الحساسة عن طريق تطعيم المواد الحساسة متعددة الطبقات.