Visokotemperaturni tankoslojni piezoelektrični keramički materijali

Osjetljivi materijal

Osjetljivi materijali temeljne su komponente visokotemperaturnih senzora tankog filma. Njihova kemijska i električna stabilnost ima veliki utjecaj na piezoelektrični prstenovi senzor vibracija mogu li se senzori tankog filma koristiti u teškim okruženjima. Vrste osjetljivih materijala, mikrostruktura osjetljivog materijala ima vlastitu kristalnu strukturu, a svojstva slobodnih nosača određuju se koeficijentom osjetljivosti proizvedenog senzora tankog filma. Općenito, mjerač naprezanja od legiranog filma ima najniži faktor mjerenja, a zatim slijedi mjerač naprezanja s tankim filmom od piezo keramičkog materijala i najviši piezoelektrični keramički disk pretvornik poluvodički je tankoslojni mjerač naprezanja.

koefikasna osjetljivost

Veći koeficijent deformacije visoke temperature ima mjerač deformacije tankog filma, veći koeficijent deformacije visoke temperature Piezoelektrični senzor PZT materijala je tankoslojni termopar, a što je viši temperaturni koeficijent otpora tankoslojnog RTD-a, to je veća osjetljivost i lakši mjerni signal, ali osjetljivost visokotemperaturnog tankoslojnog senzora izrađena je od različitih osjetljivih piezo materijala. Koeficijenti uvelike variraju. Visokotemperaturni tankoslojni mjerači naprezanja izrađeni su od visokotemperaturnih legura općenito imaju koeficijent naprezanja od 1 do 3, dok obični mjerači naprezanja od piezo keramike imaju nešto veći koeficijent naprezanja od 3 do 9, ali su usporedivi s onima kod mjerača naprezanja dopiranih poluvodičem (100 do 200) .što još uvijek nije visoko dovoljno. Koeficijent tankoslojnog termopara izrađenog od legure je nizak, Seebeckov koeficijent tankoslojnog termopara izrađenog od piezo keramike malo je visok.

Učinak visoke temperature

Proces proizvodnje osjetljivog piezo materijala