Sensitiewe materiale is die kernkomponente van hoë-temperatuur dunfilmsensors. Hul chemiese en elektriese stabiliteit het 'n groot invloed op piëzo-elektriese ringe vibrasiesensor of dunfilmsensors in moeilike omgewings gebruik kan word. Die soorte sensitiewe materiale, die mikrostruktuur van die sensitiewe materiaal het 'n eie kristalstruktuur, en die eienskappe van vrye draers word uitgevoer deur die koëffisiëntgevoeligheid van die vervaardigde dunfilmsensor. Oor die algemeen het die legering film rekmeter die laagste meter faktor, gevolg deur 'n dun film rek meter gemaak van piëzo keramiek materiaal, en die hoogste piëzo-elektriese keramiekskyf-omskakelaar is 'n halfgeleier dun film rekmeter.
mede- doeltreffende sensitiwiteit
Die hoër spanningskoëffisiënt van die hoë temperatuur het 'n dun film-spanningsmeter, die hoër koëffisiënt van die hoë temperatuur PZT materiaal piëzo-elektriese sensor is dun film termokoppel, en die hoër temperatuur koëffisiënt van weerstand is die dun film RTD, hoe hoër sensitiwiteit en hoe makliker die meting sein, maar die sensitiwiteit van die hoë temperatuur dun film sensor is gemaak van verskillende sensitiewe piëzo materiale .Die koëffisiënte wissel baie. Die hoë-temperatuur dun-film rekmeters word gemaak van hoë-temperatuur legerings het oor die algemeen 'n rek koëffisiënt van 1 tot 3, terwyl die gewone rek meters van piëzo keramiek 'n effens hoër rek koëffisiënt van 3 tot 9 het, maar hulle is vergelykbaar met dié van halfgeleier-gedoteerde rek meters (wat nog nie genoeg is nie). Die koëffisiënt van 'n dun film termokoppel is gemaak van 'n legering is laag, die seebeck koëffisiënt van 'n dun film termokoppel is gemaak van piëzo keramiek is effens hoog.
Prestasie van hoë temperatuur
Sensitiewe materiale dra die taak om seine te genereer en kan beperkte temperature verdra. Wanneer die temperatuur 'n sekere temperatuur van oorskry ultrasoniese piëzo-elektriese keramiek transduce r , die fase verandering of selfs kraak die sensitiewe piëzo materiaal plaasvind, wat die elektriese prestasie beïnvloed en uiteindelik lei tot die mislukking van die dun film sensor. Tans kan die legering temperature van 1 100 °C weerstaan, en piëzo-keramiek kan temperature van 1 500 °C weerstaan. In die hoë-temperatuur toepassings (soos hoë temperatuur gebiede van aeroenjins) het die temperatuur 1700 °C oorskry. Deesdae kan hoë-temperatuur dun-film sensors nie meer weerstaan om piëzo-materiale en prosesse te kies wat meer weerstand teen hoë temperature is en hoër temperature sensor kan weerstaan nie.
Vervaardigingsproses van sensitiewe piëzo-materiaal
Piëso-elektriese keramieksensors is sensitiewe materiale en het die eienskappe van hoë temperatuurweerstand en oksidasieweerstand. Die aanvanklike toestand is vloeibaar. Na liguitharding of termoharding by 'n temperatuur van ongeveer 90 °C tot ongeveer 100 °C, is die temperatuur ongeveer 300 °C tot 600 °C. Kruisbinding word uitgevoer, en die voorloper piëzo-keramiek word uiteindelik by 'n temperatuur van ongeveer 1 000 °C gepyroliseer. Voorloper piëzokeramiek werk stabiel by temperature bo 1 400 °C, maar krimp tydens kruisbinding en pirolise, wat tipies met ongeveer 30% krimp. Die byvoeging van vullers kan krimping verminder. Daar is volwasse prosesse vir die vervaardiging van liggaamsdele met behulp van voorloper piëso-elektriese skyf vibrasie sensor, maar daar is min verslae oor hul dun film patroon prosesse. Daar is geen verslag oor die patroonvormingsproses van PDC-dunfilms op nikkel-basislegerings nie. Daarom, die gebruik van piëzo keramiek vir die vervaardiging is hoë-temperatuur dun film sensors vereis die oplossing van krimp.dit is probleme en patroon proses probleme. Die keuse van die regte materiaal kan die sensitiwiteitskoëffisiënt van die hoë-temperatuur dunfilmsensor verbeter. Die sensitiwiteitskoëffisiënt van die hoë-temperatuur dunfilmsensor kan ook verbeter word deur die samestelling van die sensitiewe materiaal te verander deur meerlaagsensitiewe materiale te dopeer.
Hubei Hannas Tech Co., Ltd is 'n professionele vervaardiger van piëzo-elektriese keramiek en ultrasoniese transducer, toegewy aan ultrasoniese tegnologie en industriële toepassings.