Vysokoteplotní tenkovrstvé piezoelektrické keramické materiály

Citlivý materiál

Citlivé materiály jsou základními součástmi vysokoteplotních tenkovrstvých senzorů. Velký vliv na to má jejich chemická a elektrická stabilita piezoelektrický prstencový vibrací, snímač zda lze tenkovrstvé snímače použít v náročných prostředích. Druhy citlivých materiálů, mikrostruktura citlivého materiálu má vlastní krystalovou strukturu a vlastnosti volných nosičů jsou prováděny koeficientovou citlivostí vyrobeného tenkovrstvého senzoru. Obecně platí, že tenzometr ze slitinového filmu má nejnižší měrný faktor, následovaný tenkovrstvým tenzometrem vyrobeným z piezokeramického materiálu a nejvyšší piezoelektrický keramický diskový měnič je polovodičový tenkovrstvý tenzometr.

koefektivní citlivost

Čím vyšší koeficient deformace vysoké teploty má tenkovrstvý tenzometr, tím vyšší koeficient vysoké teploty Piezoelektrický senzor z materiálu PZT je tenkovrstvý termočlánek a čím vyšší teplotní koeficient odporu je tenkovrstvý RTD, tím vyšší je citlivost a tím snadnější je signál měření, ale citlivost vysokoteplotního tenkovrstvého senzoru je vyrobena z různých citlivých piezo materiálů. Koeficienty se velmi liší. Vysokoteplotní tenkovrstvé tenzometry jsou vyrobeny z vysokoteplotních slitin obecně mají koeficient deformace 1 až 3, zatímco obyčejné tenzometry z piezokeramiky mají koeficient deformace o něco vyšší 3 až 9, ale jsou srovnatelné s tenzometry dotovanými polovodiči (100 až 200), což stále není dostatečně vysoké. Koeficient tenkovrstvého termočlánku je vyroben ze slitiny je nízký, Seebeckův koeficient tenkovrstvého termočlánku z piezokeramiky je mírně vysoký.

P ů sobení vysoké teploty

Výrobní proces citlivého piezo materiálu