Korkean lämpötilan ohutkalvo pietsosähköiset keraamiset materiaalit

Herkkä materiaali

Herkät materiaalit ovat korkean lämpötilan ohutkalvoanturien ydinkomponentteja. Niiden kemiallinen ja sähköinen stabiilisuus vaikuttavat suuresti pietsosähköisten renkaiden värähtelytunnistin , voidaanko ohutkalvoantureita käyttää ankarissa ympäristöissä. Herkän materiaalin tyypit, herkän materiaalin mikrorakenteella on oma kiderakenne ja vapaiden kantajien ominaisuudet toteutetaan valmistetun ohutkalvosensorin herkkyyskerroin. Yleensä metalliseoskalvon venymämittarilla on pienin mittarikerroin, jota seuraa pietsokeraamisesta materiaalista valmistettu ohutkalvovenymäanturi ja korkein. Pietsosähköinen keraaminen levymuunnin on puolijohteinen ohutkalvovenymäanturi.

koefektiivinen herkkyys

Korkean lämpötilan suuremmalla venymäkertoimella on ohutkalvovenymäanturi, sitä korkeampi korkean lämpötilan kerroin PZT-materiaalin pietsosähköinen anturi on ohutkalvotermopari, ja korkeampi lämpötilakerroin vastus on ohutkalvo RTD, korkeampi herkkyys ja helpompi mittaussignaali, mutta korkean lämpötilan ohutkalvoanturin herkkyys on valmistettu erilaisista herkistä pietsomateriaaleista. Kertoimet vaihtelevat suuresti. Korkean lämpötilan ohutkalvovenymäanturit on valmistettu korkean lämpötilan metalliseoksista, ja niiden venymäkerroin on yleensä 1-3, kun taas tavallisten pietsokeraamisten venymäantureiden venymäkerroin on hieman korkeampi 3-9, mutta ne ovat verrattavissa puolijohdeseostettujen venymäanturien vastaaviin. Seoksesta valmistetun ohutkalvotermoparin kerroin on alhainen, pietsokeramiikasta valmistetun ohutkalvotermoparin seebeck-kerroin on hieman korkea.

K uorituskyky korkeassa lämpötilassa

valmistusprosessiHerkän pietsomateriaalin