Herkkä materiaali Herkät materiaalit ovat korkean lämpötilan ohutkalvoanturien ydinkomponentteja. Niiden kemiallinen ja sähköinen stabiilius vaikuttavat suuresti pietsosähköisten renkaiden värähtelyanturiin, voidaanko ohutkalvoantureita käyttää ankarissa ympäristöissä. Erilaiset herkät materiaalit, t