przetwornik piezoelektryczny do pomiaru przemieszczenia Badania nad elementem dysku piezoelektrycznego z powłoką BaTiO3 natryskiwaną jonami przyniosły ostatnio nowy postęp. Jest to mikrostruktura powłoki BaTiO3, przekrój poprzeczny powłoki plazmowej BaTiO3 oraz mikrostruktura pod grzechem plazmy EDM