trasduttore piezoelettrico per misurare lo spostamentoLe ricerche sull'elemento disco piezoelettrico con rivestimento BaTiO3 spruzzato con ioni hanno recentemente fatto nuovi progressi. Si tratta della microstruttura del rivestimento BaTiO3, della sezione trasversale del rivestimento BaTiO3 al plasma e della microstruttura sotto il peccato del plasma EDM