trasduttore piezoelettrico per misurare lo spostamentoLa ricerca sull'elemento disco piezoelettrico con rivestimento BaTiO3 spruzzato con ioni ha recentemente fatto nuovi progressi. Si tratta della microstruttura del rivestimento BaTiO3, della sezione trasversale del rivestimento BaTiO3 al plasma e della microstruttura sotto il peccato del plasma EDM