Wysokotemperaturowe cienkowarstwowe materiały ceramiczne piezoelektryczne

Wrażliwy materiał

Wrażliwe materiały są podstawowymi elementami wysokotemperaturowych czujników cienkowarstwowych. Duży wpływ ma ich stabilność chemiczna i elektryczna pierścienie piezoelektryczne czujnik drgań czy czujniki cienkowarstwowe mogą być stosowane w trudnych warunkach. Rodzaje wrażliwych materiałów, mikrostruktura wrażliwego materiału ma własną strukturę krystaliczną, a właściwości wolnych nośników wynikają ze współczynnika czułości wyprodukowanego czujnika cienkowarstwowego. Ogólnie rzecz biorąc, tensometr z folii stopowej ma najniższy współczynnik grubości, następnie tensometr cienkowarstwowy wykonany z materiału piezoceramicznego, a najwyższy Piezoelektryczny przetwornik ceramiczny jest półprzewodnikowym, cienkowarstwowym czujnikiem tensometrycznym.

współefektywna czułość

Wyższy współczynnik odkształcenia w wysokiej temperaturze ma tensometr cienkowarstwowy, tym wyższy współczynnik odkształcenia w wysokiej temperaturze Czujnik piezoelektryczny materiału PZT to termopara cienkowarstwowa, a im wyższy współczynnik temperaturowy rezystancji to cienkowarstwowy czujnik RTD, tym wyższa czułość i łatwiejszy sygnał pomiarowy, ale czułość wysokotemperaturowego czujnika cienkowarstwowego jest wykonana z różnych wrażliwych materiałów piezoelektrycznych. Współczynniki są bardzo zróżnicowane. Wysokotemperaturowe cienkowarstwowe tensometry wykonane ze stopów wysokotemperaturowych mają zazwyczaj współczynnik odkształcenia od 1 do 3, podczas gdy zwykłe tensometry z ceramiki piezoelektrycznej mają nieco wyższy współczynnik odkształcenia od 3 do 9, ale są porównywalne z tensometrami domieszkowanymi półprzewodnikami (100 do 200), co wciąż nie jest wystarczająco wysokie. Współczynnik termopary cienkowarstwowej wykonanej ze stopu jest niski, współczynnik Seebecka termopary cienkowarstwowej wykonanej z ceramiki piezoelektrycznej jest nieco wysoki.

Działanie wysokiej temperatury

Proces produkcyjny wrażliwego materiału piezoelektrycznego