Language
Visningar: 16 Författare: Webbplatsredaktör Publiceringstid: 2018-06-28 Ursprung: Plats
Känsligt material
Känsliga material är kärnkomponenterna i tunnfilmssensorer för hög temperatur. Deras kemiska och elektriska stabilitet har stor inverkan på piezoelektriska ringar vibrationssensorer om tunnfilmssensorer kan användas i tuffa miljöer. Typerna av känsliga material, mikrostrukturen hos det känsliga materialet har en egen kristallstruktur, och egenskaperna hos fria bärare utförs av koefficientkänsligheten hos den tillverkade tunnfilmssensorn. Generellt sett har legeringsfilmtöjningsmätaren den lägsta mätfaktorn, följt av en tunnfilmstöjningsmätare gjord av piezokeramiskt material, och den högsta piezoelektrisk keramisk skivomvandlare är en halvledartöjningsmätare med tunn film.
koeffektiv känslighet
Den högre töjningskoefficienten för den höga temperaturen har en tunn filmtöjningsmätare, den högre koefficienten för den höga temperaturen PZT-material piezoelektrisk sensor är tunnfilmstermoelement, och den högre temperaturkoefficienten av motstånd är tunnfilms-RTD, desto högre känslighet och desto lättare är mätsignalen, men känsligheten hos högtemperaturtunnfilmssensorn är gjord av olika känsliga piezomaterial. Koefficienterna varierar kraftigt. Töjningsmätarna för hög temperatur är gjorda av högtemperaturlegeringar och har i allmänhet en töjningskoefficient på 1 till 3, medan de vanliga töjningsgivarna av piezokeramik har en något högre töjningskoefficient på 3 till 9, men de är jämförbara med de för halvledardopade töjningsmätare till vilket fortfarande inte är tillräckligt högt (21000). Koefficienten för ett tunnfilmstermoelement är gjord av en legering är låg, seebeck-koefficienten för ett tunnfilmstermoelement är gjord av piezokeramik är något hög.
Prestanda av hög temperatur
Tillverkningsprocess av känsligt piezomaterial
