संवेदनशील सामग्री उच्च तापमान पतली-फिल्म सेंसर के मुख्य घटक हैं। उनकी रासायनिक और विद्युत स्थिरता पर बहुत प्रभाव पड़ता है पीज़ोइलेक्ट्रिक रिंग्स वाइब्रेशन सेंसो आर क्या पतली-फिल्म सेंसर का उपयोग कठोर वातावरण में किया जा सकता है। संवेदनशील सामग्रियों के प्रकार, संवेदनशील सामग्री की सूक्ष्म संरचना की अपनी क्रिस्टल संरचना होती है, और मुक्त वाहक के गुणों को निर्मित पतली-फिल्म सेंसर की गुणांक संवेदनशीलता से पूरा किया जाता है। सामान्य तौर पर, मिश्र धातु फिल्म स्ट्रेन गेज में सबसे कम गेज कारक होता है, इसके बाद पीजो सिरेमिक सामग्री से बनी पतली फिल्म स्ट्रेन गेज होता है, और उच्चतम होता है पीजोइलेक्ट्रिक सिरेमिक डिस्क ट्रांसड्यूसर एक अर्धचालक पतली फिल्म स्ट्रेन गेज है।
सह कुशल संवेदनशीलता
उच्च तापमान का उच्च तनाव गुणांक पतली फिल्म तनाव गेज है, उच्च तापमान का उच्च गुणांक पीजेडटी सामग्री पीजोइलेक्ट्रिक सेंसर पतली फिल्म थर्मोकपल है, और प्रतिरोध का उच्च तापमान गुणांक पतली फिल्म आरटीडी है, उच्च संवेदनशीलता और माप संकेत आसान है, लेकिन उच्च तापमान पतली फिल्म सेंसर की संवेदनशीलता विभिन्न संवेदनशील पीजो सामग्रियों से बनी होती है। गुणांक व्यापक रूप से भिन्न होते हैं। उच्च तापमान वाली पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज उच्च तापमान मिश्र धातुओं से बने होते हैं, जिनमें आम तौर पर 1 से 3 का स्ट्रेन गुणांक होता है, जबकि पीजो सिरेमिक के सामान्य स्ट्रेन गेज में 3 से 9 का थोड़ा अधिक स्ट्रेन गुणांक होता है, लेकिन वे सेमीकंडक्टर-डॉप्ड स्ट्रेन गेज (100 से 200) के बराबर होते हैं। जो अभी भी पर्याप्त उच्च नहीं है। मिश्रधातु से बनी पतली फिल्म थर्मोकपल का गुणांक कम होता है, पीजो सिरेमिक से बनी पतली फिल्म थर्मोकपल का सीबेक गुणांक थोड़ा अधिक होता है।
प्रदर्शनउच्च तापमान का
संवेदनशील सामग्रियां सिग्नल उत्पन्न करने का कार्य करती हैं और सीमित तापमान को सहन कर सकती हैं। जब तापमान एक निश्चित तापमान से अधिक हो जाता है अल्ट्रासोनिक पीजोइलेक्ट्रिक सिरेमिक ट्रांसड्यूस आर , चरण परिवर्तन या संवेदनशील पीजो सामग्री में दरार भी होती है, जो विद्युत प्रदर्शन को प्रभावित करती है और अंततः पतली फिल्म सेंसर की विफलता की ओर ले जाती है। वर्तमान में, मिश्र धातु 1 100 डिग्री सेल्सियस के तापमान का सामना कर सकती है, और पीजो सिरेमिक 1 500 डिग्री सेल्सियस के तापमान का सामना कर सकता है। उच्च तापमान अनुप्रयोगों (जैसे कि एयरोइंजन के उच्च तापमान वाले क्षेत्र) में, तापमान 1700 डिग्री सेल्सियस से अधिक हो गया है। आजकल, उच्च तापमान वाले पतले-फिल्म सेंसर अब चुनिंदा पीजो सामग्री और प्रक्रियाओं का सामना नहीं कर सकते हैं जो उच्च तापमान के प्रति अधिक प्रतिरोधी हैं और उच्च तापमान सेंसर का सामना कर सकते हैं।
प्रक्रियासंवेदनशील पीजो सामग्री की विनिर्माण
पीजोइलेक्ट्रिक सिरेमिक सेंसर संवेदनशील सामग्री हैं और इनमें उच्च तापमान प्रतिरोध और ऑक्सीकरण प्रतिरोध की विशेषताएं हैं। प्रारंभिक अवस्था तरल है. लगभग 90 डिग्री सेल्सियस से लगभग 100 डिग्री सेल्सियस के तापमान पर हल्के इलाज या थर्मोसेटिंग के बाद, तापमान लगभग 300 डिग्री सेल्सियस से 600 डिग्री सेल्सियस होता है। क्रॉस-लिंकिंग की जाती है, और पूर्ववर्ती पीजो सिरेमिक को अंततः लगभग 1 000 डिग्री सेल्सियस के तापमान पर पाइरोलाइज किया जाता है। प्रीकर्सर पीज़ोसेरामिक्स 1 400 डिग्री सेल्सियस से ऊपर के तापमान पर स्थिर रूप से काम करता है लेकिन क्रॉस-लिंकिंग और पायरोलिसिस के दौरान सिकुड़ जाता है, आमतौर पर लगभग 30% तक सिकुड़ जाता है। फिलर्स जोड़ने से सिकुड़न कम हो सकती है। प्रीकर्सर पीजोइलेक्ट्रिक डिस्क वाइब्रेशन सेंसर का उपयोग करके शरीर के अंगों को बनाने की परिपक्व प्रक्रियाएं हैं, लेकिन उनकी पतली फिल्म पैटर्निंग प्रक्रियाओं पर कुछ रिपोर्टें हैं। निकल-बेस मिश्र धातुओं पर पीडीसी पतली फिल्मों की पैटर्निंग प्रक्रिया पर कोई रिपोर्ट नहीं है। इसलिए, उच्च तापमान वाली पतली फिल्म सेंसर के निर्माण के लिए पीजो सिरेमिक के उपयोग के लिए सिकुड़न के समाधान की आवश्यकता होती है। यह समस्याएं और पैटर्निंग प्रक्रिया की समस्याएं हैं। सही सामग्री चुनने से उच्च तापमान पतली फिल्म सेंसर की संवेदनशीलता गुणांक में सुधार हो सकता है। बहु-परत संवेदनशील सामग्रियों को डोपिंग द्वारा संवेदनशील सामग्री की संरचना को बदलकर उच्च तापमान पतली फिल्म सेंसर की संवेदनशीलता गुणांक में भी सुधार किया जा सकता है।
हुबेई हन्नास टेक कंपनी लिमिटेड एक पेशेवर पीजोइलेक्ट्रिक सिरेमिक और अल्ट्रासोनिक ट्रांसड्यूसर निर्माता है, जो अल्ट्रासोनिक प्रौद्योगिकी और औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए समर्पित है।
