Productieprocessen beïnvloeden vaak de prestaties bij hoge temperaturen piëzo-elektrische trillingssensor . het is uitgloeien, doteren van de atmosfeer, sputterdruk, temperatuur en andere procesparameters hebben een grote invloed op de gevoeligheidscoëfficiënt, het is de temperatuur en stabiliteit van de dunne filmsensor op hoge temperatuur. Deze procesparameters hebben vaak invloed op de dichtheid, kristalstructuur, enz. Piëzo-materiaal veroorzaakt tot op zekere hoogte veranderingen in de materiaaleigenschappen, wat uiteindelijk de prestatieparameters van de dunne-filmsensor op hoge temperatuur beïnvloedt. Het is het kiezen van de juiste procesparameters piëzo-elektrische keramische transducers zijn van cruciaal belang voor de productie van dunnefilmsensoren met betere prestaties. Bijvoorbeeld uitgloeien bij hoge temperatuur en atmosfeer, wat een effect heeft op de filmstructuur en de plaatweerstand van PdCr dunne-film rekstrookjes, die chroomoxide op het oppervlak van de film kunnen genereren, waardoor rekstrookjes beter worden beschermd en de weerstand van de piëzofilm wordt verminderd.
Patroonoppervlak
Conventionele productieprocessen maken over het algemeen gebruik van magnetronsputteren om verschillende lagen dunne film met hoge temperatuur te genereren Pzt piëzo-keramiek . Wanneer het nodig is dat op temperatuur gemeten componenten of structuren gebogen oppervlakken zijn, is het maken van maskers moeilijk. Bovendien hebben dunnefilmsensoren voor hoge temperaturen kleine breedtes en meerlaagse dunne films. Daarom is uitlijnen lastiger. In het bijzonder, wanneer een multifunctionele geïntegreerde dunne-filmtransducer voor hoge temperaturen wordt vervaardigd, zijn de dikte en het patroon van elk functioneel piëzo-trillingssensormodules zijn verschillend en het is nog handiger om gebogen oppervlakken te creëren.
Proces op hoge temperatuur
De dichtheid en de microstructuur van de piëzo-elektrische klopsensor worden geproduceerd, verschillende processen zijn verschillend en de verkregen kenmerken kunnen ook verschillend zijn. Nadat de eisen voor het fabricageproces van dunnefilmsensoren bij hogere temperaturen zijn toegenomen, moeten veel procesparameters opnieuw worden geoptimaliseerd. Wanneer bijvoorbeeld een dunne-film-rekstrookje van een legering wordt gemaakt om een isolerende laag van aluminiumoxide aan te brengen, is het noodzakelijk om te substraat wanneer aluminiumoxide wordt afgezet om de spanning van de aluminiumoxidelaag te compenseren wanneer het rekstrookje bij een hoge temperatuur wordt gebruikt. Wanneer de verwarmingstemperatuur van piëzo-elektrische druksensor bereikt 800 °C ~ 900 °C, de verkregen aluminiumoxidefilmtransducer kan worden gebruikt bij een temperatuur van 1 100 ° C bij toepassing in een omgeving van meer dan 1 100 ° C, de substraattemperatuur moet opnieuw worden geoptimaliseerd.
Hubei Hannas Tech Co., Ltd is een professionele fabrikant van piëzo-elektrische keramiek en ultrasone transducers, gewijd aan ultrasone technologie en industriële toepassingen.
