غالبًا ما تؤثر عمليات التصنيع على أداء درجات الحرارة المرتفعة مستشعر الاهتزاز الكهرضغطي . إنه التلدين، تعاطي المنشطات في الغلاف الجوي، ضغط الاخرق، درجة الحرارة وغيرها من معلمات العملية لها تأثير كبير على معامل الحساسية، إنها درجة الحرارة واستقرار مستشعر الأغشية الرقيقة ذو درجة الحرارة العالية. غالبًا ما تؤثر معلمات العملية هذه على الكثافة والبنية البلورية وما إلى ذلك. تتسبب المادة الانضغاطية في حدوث تغييرات في خصائص المادة إلى درجة معينة، مما يؤثر في النهاية على معلمات أداء مستشعر الأغشية الرقيقة ذو درجة الحرارة العالية. إنه اختيار معلمات العملية الصحيحة يعد محول الطاقة الخزفي الكهرضغطي أمرًا بالغ الأهمية لتصنيع مستشعرات الأغشية الرقيقة ذات الأداء الأفضل. على سبيل المثال، التلدين عند درجة حرارة عالية وجو، والذي له تأثير على بنية الفيلم ومقاومة الصفائح لمقاييس سلالة الأغشية الرقيقة PdCr، والتي يمكن أن تولد أكسيد الكروم على سطح الفيلم، وبالتالي حماية أفضل لمقاييس الضغط وتقليل مقاومة فيلم بيزو.
سطح الزخرفة
تستخدم عمليات التصنيع التقليدية بشكل عام رش المغنطرون لتوليد طبقات مختلفة من الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية Pzt بيزو السيراميك . عندما تكون المكونات أو الهياكل التي يتم قياس درجة حرارتها مطلوبة هي أسطح منحنية، يكون صنع القناع أمرًا صعبًا. بالإضافة إلى ذلك، تتميز أجهزة الاستشعار ذات الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية بعرض صغير وأغشية رقيقة متعددة الطبقات. ولذلك، فإن المحاذاة أكثر صعوبة. على وجه الخصوص، عندما يتم تصنيع محول طاقة غشاء رقيق متكامل متعدد الوظائف وعالي الحرارة، يتم تحديد سمك ونمط كل محول وظيفي تختلف وحدة استشعار الاهتزاز الضغطي ، وهي أكثر ملاءمة لإنشاء أسطح منحنية.
عملية ارتفاع درجة الحرارة
يتم إنتاج الكثافة والبنية المجهرية لمستشعر الضرب الكهروإجهادي، وتختلف العمليات المختلفة، وقد تكون الخصائص التي تم الحصول عليها مختلفة أيضًا. بعد زيادة متطلبات عملية تصنيع أجهزة الاستشعار ذات الأغشية الرقيقة التي تعمل في درجات حرارة أعلى، يلزم إعادة تحسين العديد من معلمات العملية. على سبيل المثال، عندما يتم تصنيع مقياس انفعال الأغشية الرقيقة من سبيكة لترسيب طبقة عازلة من أكسيد الألومنيوم، فمن الضروري وضع الركيزة عند ترسيب أكسيد الألومنيوم من أجل تعويض إجهاد طبقة أكسيد الألومنيوم عند استخدام مقياس الانفعال عند درجة حرارة عالية. عند درجة حرارة التدفئة يصل مستشعر الضغط الكهرضغطي إلى 800 درجة مئوية ~ 900 درجة مئوية، ويمكن استخدام محول طبقة الألومينا الذي تم الحصول عليه عند درجة حرارة 1100 درجة مئوية في تطبيق أكثر من 1100 درجة مئوية، ويجب إعادة تحسين درجة حرارة الركيزة.
Hubei Hannas Tech Co.,Ltd هي شركة متخصصة في تصنيع السيراميك الكهرضغطي ومحول الطاقة بالموجات فوق الصوتية، وهي مخصصة لتكنولوجيا الموجات فوق الصوتية والتطبيقات الصناعية.
إضافة رقم 302 منطقة تكتل الابتكار، تشيبي أفينو، مدينة تشيبي، شيانينغ، مقاطعة هوبى، الصين
:
sales@piezohannas.com الهاتف: +86 07155272177
الهاتف: +86 + 18986196674
QQ: 1553242848
سكايب: مباشر:
mary_14398
