Valmistusprosessit vaikuttavat usein suorituskykyyn korkeissa lämpötiloissa pietsosähköinen tärinäanturi . se on hehkutus, ilmakehän seostus, sputterointipaine, lämpötila ja muut prosessiparametrit vaikuttavat suuresti herkkyyskertoimeen, se on korkean lämpötilan ohutkalvoanturin lämpötila ja vakaus. Nämä prosessiparametrit vaikuttavat usein tiheyteen, kiderakenteeseen jne. Pietsomateriaali aiheuttaa muutoksia materiaalin ominaisuuksiin tietyssä määrin, mikä lopulta vaikuttaa korkean lämpötilan ohutkalvoanturin suorituskykyparametreihin. Se valitsee oikeat prosessiparametrit Pietsosähköinen keraaminen muunnin on kriittinen valmistettaessa ohutkalvoantureita, joiden suorituskyky on parempi. Esimerkiksi hehkutus korkeassa lämpötilassa ja ilmakehässä, millä on vaikutusta PdCr-ohutkalvovenymäanturien kalvorakenteeseen ja levyn kestävyyteen, mikä voi tuottaa kromioksidia kalvon pinnalle, mikä suojaa venymäantureita paremmin ja vähentää pietsokalvon ominaisvastusta.
Kuvioitu pinta
Perinteisissä valmistusprosesseissa käytetään yleensä magnetronisputterointia erilaisten korkean lämpötilan ohutkalvokerrosten muodostamiseen Pzt piezo keramiikka . Kun vaaditaan lämpötilamittauskomponentteja tai rakenteita kaarevia pintoja, maskin valmistus on vaikeaa. Lisäksi korkean lämpötilan ohutkalvoantureissa on pieni leveys ja monikerroksiset ohutkalvot. Siksi kohdistaminen on vaikeampaa. Erityisesti, kun valmistetaan monitoiminen integroitu korkean lämpötilan ohutkalvoanturi, kunkin toiminnon paksuus ja kuvio pietsovärähtelyanturimoduulit ovat erilaisia, ja on vielä kätevämpää luoda kaarevia pintoja.
Korkean lämpötilan prosessi
Pietsosähköisen nakutusanturin tiheys ja mikrorakenne tuotetaan, eri prosessit ovat erilaisia ja saadut ominaisuudet voivat myös olla erilaisia. Kun ohutkalvoanturien valmistusprosessin vaatimukset ovat lisääntyneet korkeammissa lämpötiloissa, monet prosessiparametrit on optimoitava uudelleen. Esimerkiksi kun seoksena oleva ohutkalvovenymäanturi valmistetaan saostamaan alumiinioksidia eristävää kerrosta, on tarpeen alustaa, kun alumiinioksidia kerrostetaan, jotta voidaan korvata alumiinioksidikerroksen rasitus, kun venymämittaria käytetään korkeassa lämpötilassa. Kun lämmityslämpötila on pietsosähköinen paineanturi saavuttaa 800 °C ~ 900 °C, saatua alumiinioksidikalvoanturia voidaan käyttää 1 100 °C:n lämpötilassa yli 1 100 °C:n ympäristössä, substraatin lämpötila on optimoitava uudelleen.
Hubei Hannas Tech Co., Ltd on ammattimainen pietsosähköisen keramiikan ja ultraääniantureiden valmistaja, joka on omistautunut ultraääniteknologiaan ja teollisiin sovelluksiin.
