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感圧圧電センサー
新型マイクロモーターとして、独自の技術開発により、 圧電リングトランスデューサは、 電子制御およびドライブから分離できません。制御技術のメリット・デメリットは、その優れた性能を十分に発揮できるかどうかに直結し、応用・普及に影響を及ぼします。そこで、制御技術の研究が進められています。 wホールセールピエゾリングは 国内外の学者からますます注目を集めています。超音波モーターの開発の歴史について：
超音波モーターの開発は1961年に4段階を経て、初めて弾性体を使って弾性体を刺激し、振動を与えました。 hifu超音波ピエゾが使用されました。 クロックギアの駆動にはこの時計は正確で、誤差は月あたりわずか 1 分で、当時の記録を破りセンセーションを巻き起こしましたが、同時に超音波モーターの序章を開きました。
主要マシンの試作段階。 1972年から1973年にかけて、シーメンス社と松下社により実用化の目処がついた超音波モータが開発されました。しかし、圧電セラミックシリンダーは圧電材料のため数十kHzの駆動周波数で動作し、振幅が小さすぎて材料が閉まらず、大きなトルクが得られません。Barthはトルクが大きく、高速ですが寿命が短い定在波型超音波モーターを提案しました。同じ原理の超音波モータも数種類開発されており、1978年にはピエゾ円板素子を用いて大きな負荷を駆動できる超音波モータの構築に成功しました。
振動子の原理を利用して共振周波数を下げ、共振振幅を大きくするのが特徴です。しかし、さまざまな理由で失敗しました。 1980年にヴァシリエフの研究に基づいて、くさび形のスタンディング型超音波モーターが提案されました。動作周波数は 27.8kHz、入力電力は 90W ですが、このモーターには 2 つの欠点があります。 ピエゾ電気ディスクは 接触すると深刻な磨耗が発生し、第二に、ローター速度の調整がより難しく、一方向のみの回転であり、1982 年に開発された進行波タイプです。
