Piëzo-elektrische films worden veel gebruikt vanwege hun uitstekende prestaties. Piëzo-elektrische dikke films kunnen worden gebruikt om een verscheidenheid aan micro-apparaten te vervaardigen, zoals micropompen, ultrasone motoren, resonatoren, pyro-elektrische dikke filmsensoren, dikke filmactuators, micro-energie-pickups, enz. 1. Hydroph