Piezoelektriska filmer används ofta på grund av deras utmärkta prestanda. Piezoelektriska tjockfilmer kan användas för att tillverka en mängd olika mikroenheter, såsom mikropumpar, ultraljudsmotorer, resonatorer, pyroelektriska tjockfilmssensorer, tjockfilmsställdon, mikroenergipickuper, etc. 1. Hydroph