Piezoelektriske filmer er mye brukt på grunn av deres utmerkede ytelse. Piezoelektriske tykke filmer kan brukes til å produsere en rekke mikroenheter, slik som mikropumper, ultralydmotorer, resonatorer, pyroelektriske tykkfilmsensorer, tykkfilmaktuatorer, mikroenergi-pickuper osv. 1. Hydroph