Piezoelektriske film er meget udbredt på grund af deres fremragende ydeevne. Piezoelektriske tykfilm kan bruges til at fremstille en række mikroenheder, såsom mikropumper, ultralydsmotorer, resonatorer, pyroelektriske tykfilmssensorer, tykfilmaktuatorer, mikroenergi pickupper osv. 1. Hydroph